炭化珪素半導体装置用セラミックアーム

簡単な説明:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. は、ウェーハおよび最先端の半導体消耗品を専門とする大手サプライヤーです。当社は、半導体製造に高品質で信頼性の高い革新的な製品を提供することに専念しています。太陽光発電産業およびその他の関連分野。

当社の製品ラインには、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどのさまざまな材料を含む、SiC/TaCコーティングされたグラファイト製品やセラミック製品が含まれます。

信頼できるサプライヤーとして、当社は製造プロセスにおける消耗品の重要性を理解しており、お客様のニーズを満たすために最高の品質基準を満たす製品を提供することに尽力しています。


製品の詳細

製品タグ

炭化ケイ素はコストパフォーマンスが高く、優れた材料特性を備えた新しいタイプのセラミックスです。炭化ケイ素は、高い強度と硬度、高温耐性、優れた熱伝導率、耐化学腐食性などの特徴により、ほぼすべての化学媒体に耐えることができます。したがって、SiC は石油採掘、化学、機械、空域で広く使用されており、原子力エネルギーや軍事でも SIC に対する特別な需要があります。当社が提供できる通常の用途としては、ポンプ、バルブ、防護服などのシールリングがあります。

当社は、お客様の特定の寸法に従って高品質かつ合理的な納期で設計および製造することができます。

SiC ロボット アーム (6)
SiCロボットアーム (5)
SiCロボットアーム (2)

特徴と利点

1.正確な寸法と熱安定性

2.高い比剛性と優れた熱均一性、長期使用でも曲げ変形が容易ではありません。

3.表面が滑らかで耐摩耗性に優れているため、粒子汚染なくチップを安全に取り扱うことができます。

4. 炭化ケイ素の抵抗率は 106 ~ 108Ω、非磁性、耐 ESD 仕様要件に準拠しています。チップ表面の静電気の蓄積を防ぐことができます。

5.熱伝導率が良く、膨張係数が低い。

SICセラミック材料の比較
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