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MOCVD用長寿命SICコートグラファイトヒーター K465i、エピタキシー用グラファイトヒーター
高温耐性、耐摩耗性、高硬度炭化ケイ素研削ドラムはカスタマイズ可能
高純度炭化ケイ素研削インナーバレル密度軽量
ミラー SICミラー 炭化ケイ素セラミックミラー 炭化ケイ素セラミック構造
RTP/RTA SiC コーティングキャリア
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