半導体炭化ケイ素ウェーハボート

簡単な説明:

Weitai SiC コンポーネント製品は、高い耐酸化性、化学的安定性、耐熱性を備えており、2000 度でも安定性という優れた特性を備えています。半導体材料の製造工程で必要なシリコンウェーハに代わるウェーハボート、チューブ、シミュレーションウェーハや、高温で使用される治具製品などに幅広く使用されています。半導体製造装置、自動車分野、エネルギー分野などに幅広く使用されています。


製品の詳細

製品タグ

炭化ケイ素はコストパフォーマンスが高く、優れた材料特性を備えた新しいタイプのセラミックスです。炭化ケイ素は、高い強度と硬度、高温耐性、優れた熱伝導率、耐化学腐食性などの特徴により、ほぼすべての化学媒体に耐えることができます。したがって、SiC は石油採掘、化学、機械、空域で広く使用されており、原子力エネルギーや軍事でも SIC に対する特別な需要があります。当社が提供できる通常の用途としては、ポンプ、バルブ、防護服などのシールリングがあります。

当社は、お客様の特定の寸法に従って高品質かつ合理的な納期で設計および製造することができます。

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A利点:

高温耐酸化性

優れた耐食性

優れた耐摩耗性

高い熱伝導率
自己潤滑性、低密度
高硬度
カスタマイズされたデザイン。

 

アプリケーション:

-耐摩耗分野: ブッシング、プレート、サンドブラストノズル、サイクロンライニング、研削バレルなど...

-高温分野:SiCスラブ、焼入れ炉管、ラジアントチューブ、るつぼ、発熱体、ローラー、ビーム、熱交換器、冷気パイプ、バーナーノズル、熱電対保護管、SiCボート、キルンカー構造物、セッターなど。

-軍事防弾フィールド

-炭化ケイ素半導体:SiCウェーハボート、SICチャック、SICパドル、SICカセット、SIC拡散管、ウェーハフォーク、吸着プレート、ガイドウェイなど。

-炭化ケイ素シール分野:あらゆる種類のシールリング、ベアリング、ブッシュなど。

-太陽光発電分野:カンチレバーパドル、研削バレル、炭化ケイ素ローラーなど。

-リチウム電池分野

技術パラメータ:

写真2

材料データシート

材質材料

R-SiC

使用温度作業温度 (°C)

1600℃(氧化气氛酸化環境)

1700℃(还原气氛還元環境)

SiC含有量SiC含有量(%)

> 99

自由含有量遊離Si含有量(%)

< 0.1

体密度かさ密度(g/cm3)

2.60-2.70

通気率見掛け気孔率(%)

< 16

耐圧強度圧壊強度(MPa)

> 600

常温耐弯强度冷間曲げ強度(MPa)

80~90(20℃)

高温耐性强度熱間曲げ強度(MPa)

90~100(1400℃)

熱膨張胀系数

熱膨張係数 @1500°C (10-6/°C)

4.70

导熱系数熱伝導率 @1200°C (W/mK)

23

杨氏模量弾性率(GPa)

240

耐熱震性耐熱衝撃性

很好非常に良い

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