![637123644415589503_szdam_6774893](http://www.semi-cera.com/uploads/637123644415589503_szdam_6774893.jpg)
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![1-2012221142522K](http://www.semi-cera.com/uploads/1-2012221142522K.jpg)
特徴と利点
1.正確な寸法と熱安定性
2.高い比剛性と優れた熱均一性、長期使用でも曲げ変形が容易ではありません。
3.表面が滑らかで耐摩耗性に優れているため、粒子汚染なくチップを安全に取り扱うことができます。
4. 炭化ケイ素の抵抗率は 106 ~ 108Ω、非磁性、耐 ESD 仕様要件に準拠しています。チップ表面の静電気の蓄積を防ぐことができます。
5.熱伝導率が良く、膨張係数が低い。
![SICセラミック材料の比較](http://www.semi-cera.com/uploads/Comparison-of-SIC-ceramic-materials.png)
![ADFvZCVXCD](http://www.semi-cera.com/uploads/ADFvZCVXCD.png)
特徴と利点
1.正確な寸法と熱安定性
2.高い比剛性と優れた熱均一性、長期使用でも曲げ変形が容易ではありません。
3.表面が滑らかで耐摩耗性に優れているため、粒子汚染なくチップを安全に取り扱うことができます。
4. 炭化ケイ素の抵抗率は 106 ~ 108Ω、非磁性、耐 ESD 仕様要件に準拠しています。チップ表面の静電気の蓄積を防ぐことができます。
5.熱伝導率が良く、膨張係数が低い。