バレルサセプター用SiCコーティングバレル構造

簡単な説明:

Semicera社は、様々なエピタキシャル成長炉向けに設計された、幅広い種類のサセプターおよびグラファイト部品を提供しています。

Semiceraは、業界をリードするOEMとの戦略的パートナーシップ、豊富な材料に関する専門知識、そして高度な製造能力を通じて、お客様の用途固有の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。卓越性へのこだわりにより、エピタキシャルリアクターに関するお客様のニーズに最適なソリューションをお届けします。

 

 


製品詳細

商品タグ

当社はSiCコーティングCVD法を用いてグラファイト、セラミックス、その他の材料の表面にプロセスサービスを施し、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させて高純度のSiC分子を得て、それをコーティング材料の表面に堆積させて形成する。SiC保護層エピタキシーバレル型催眠剤用。

 

主な特徴:

1. 高純度SiCコーティンググラファイト

2.優れた耐熱性と熱均一性

3. 良いSiC結晶コーティング滑らかな表面のために

4. 化学洗浄に対する高い耐久性

 
硅外延2-Siエピタキシャル部品

 主な仕様CVD-SICコーティング

SiC-CVD特性

結晶構造 FCC β相
密度 g/cm³ 3.21
硬度 ビッカース硬度 2500
粒度 μm 2~10
化学的純度 % 99.99995
熱容量 J・kg⁻¹・K⁻¹ 640
昇華温度 C 2700
屈曲強度 MPa(RT 4点) 415
ヤング率 Gpa(4点曲げ、1300℃) 430
熱膨張係数(CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300
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5----sic-crystal_242127
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Semicera職場2
設備機械
CNN処理、化学洗浄、CVDコーティング
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