アルミナ（Al2O3）の主な用途
半導体製造装置部品（キャビティ部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウエハクランプ）；ミル部品（分級機、気流ミル、ビーズミル）；一般産業用部品（レーザー加工機ノズル、回転軸、ベアリング）；高精度、高精度、耐熱性の冶金工具（位置決め治具、組立治具）。耐摩耗部品（伸線機のガイドローラー、鋼線チャンネル、ガイドレール）電気絶縁部品（絶縁体、ガスケット、ブッシュ）。
特性
アルミナは白色または乳白色のセラミックスで、その優れた電気絶縁特性を利用して、早くから電子部品に使用され始め、精密セラミックスの中でも非常に安価な材料です。
99.5％、99.9％の高純度品を供給しております。高純度タイプのアルミナは機械的強度が高く、耐食性に優れ、大型製品の生産が可能です。
また、耐プラズマ性に優れているため、CVD装置やエッチング装置の部品としても使用できます。
