炭化ケイ素 (SiC) 単結晶材料は、広いバンドギャップ幅 (~Si の 3 倍)、高い熱伝導率 (~Si 3.3 倍または GaAs の 10 倍)、高い電子飽和移動速度 (~Si 2.5 倍)、高い電気絶縁破壊を備えています。磁場(約Si 10倍またはGaAs 5倍)およびその他の優れた特性。
第 3 世代の半導体材料には、バンドギャップ幅 (Eg) が 2.3 電子ボルト (eV) 以上であるため、SiC、GaN、ダイヤモンドなどが主に含まれており、ワイドバンドギャップ半導体材料とも呼ばれます。第 1 世代および第 2 世代の半導体材料と比較して、第 3 世代の半導体材料は、高い熱伝導率、高い絶縁破壊電界、高い飽和電子移動速度、高い結合エネルギーという利点を備えており、現代の電子技術の新しい要件を満たすことができます。温度、高出力、高圧、高周波、耐放射線性、その他の過酷な条件。国防、航空、航空宇宙、石油探査、光ストレージなどの分野で重要な応用の見通しがあり、ブロードバンド通信、太陽エネルギー、自動車製造、半導体照明やスマートグリッドの導入により、機器の体積を 75% 以上削減でき、これは人類の科学技術の発展にとって画期的な意味を持ちます。
Semicera Energy は、高品質の導電性 (導電性)、半絶縁性 (半絶縁性)、HPSI (高純度半絶縁性) 炭化ケイ素基板を顧客に提供できます。さらに、均質および異質の炭化ケイ素エピタキシャル シートを顧客に提供できます。お客様の特定のニーズに応じてエピタキシャル シートをカスタマイズすることもでき、最低注文数量はありません。
ウェーハ仕様
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
nP | n-午後 | n-P | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
弓(GF3YFCD)-絶対値 | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
ワープ(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
ウェーハエッジ | 面取り |
表面仕上げ
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
nP | n-午後 | n-P | SI | SI | |
表面仕上げ | 両面光学研磨、Si-Face CMP | ||||
表面粗さ | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C面Ra≤0.5nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C面Ra≤0.5nm | |||
エッジチップ | なし 許可(長さおよび幅≧0.5mm) | ||||
インデント | 何も許可されていません | ||||
キズ(Si-Face) | 数量≤5、累積 長さ≦0.5×ウェーハ直径 | 数量≤5、累積 長さ≦0.5×ウェーハ直径 | 数量≤5、累積 長さ≦0.5×ウェーハ直径 | ||
ひび割れ | 何も許可されていません | ||||
エッジの除外 | 3mm |