炭化ケイ素 (SiC) 単結晶材料は、広いバンドギャップ幅 (~Si の 3 倍)、高い熱伝導率 (~Si 3.3 倍または GaAs の 10 倍)、高い電子飽和移動速度 (~Si 2.5 倍)、高い電気絶縁破壊を備えています。磁場(約Si 10倍またはGaAs 5倍)およびその他の優れた特性。
第 3 世代の半導体材料には、バンドギャップ幅 (Eg) が 2.3 電子ボルト (eV) 以上であるため、SiC、GaN、ダイヤモンドなどが主に含まれており、ワイドバンドギャップ半導体材料とも呼ばれます。第 1 世代および第 2 世代の半導体材料と比較して、第 3 世代の半導体材料は、高い熱伝導率、高い絶縁破壊電界、高い飽和電子移動速度、高い結合エネルギーという利点を備えており、現代の電子技術の新しい要件を満たすことができます。温度、高出力、高圧、高周波、耐放射線性、その他の過酷な条件。国防、航空、航空宇宙、石油探査、光ストレージなどの分野で重要な応用の見通しがあり、ブロードバンド通信、太陽エネルギー、自動車製造、半導体照明やスマートグリッドの導入により、機器の体積を 75% 以上削減でき、これは人類の科学技術の発展にとって画期的な意味を持ちます。
Semicera Energy は、高品質の導電性 (導電性)、半絶縁性 (半絶縁性)、HPSI (高純度半絶縁性) 炭化ケイ素基板を顧客に提供できます。さらに、均質および異質の炭化ケイ素エピタキシャル シートを顧客に提供できます。お客様の特定のニーズに応じてエピタキシャル シートをカスタマイズすることもでき、最低注文数量はありません。
製品基本仕様
サイズ | 6インチ |
直径 | 150.0mm+0mm/-0.2mm |
面の配向 | 軸外:4°方向<1120>±0.5° |
一次平坦長さ | 47.5mm1.5mm |
プライマリフラット方向 | <1120>±1.0° |
セカンダリフラット | なし |
厚さ | 350.0um±25.0um |
ポリタイプ | 4H |
導電性タイプ | n型 |
クリスタル品質仕様
6インチ | ||
アイテム | P-MOSグレード | P-SBDグレード |
抵抗率 | 0.015Ω・cm~0.025Ω・cm | |
ポリタイプ | 何も許可されません | |
マイクロパイプ密度 | ≤0.2/cm2 | ≤0.5/cm2 |
EPD | ≤4000/cm2 | ≤8000/cm2 |
テッド | ≤3000/cm2 | ≤6000/cm2 |
境界性パーソナリティ障害 | ≤1000/cm2 | ≤2000/cm2 |
TSD | ≤300/cm2 | ≤1000/cm2 |
SF(UV-PL-355nmで測定) | ≤0.5% 面積 | 面積の 1% 以下 |
高輝度光による六角プレート | 何も許可されません | |
高強度光による視覚的なカーボンインクルージョン | 累積面積≤0.05% |