Semicera の溶融石英ペデスタルは、さまざまな高温用途において比類のないサポートと安定性を提供するために細心の注意を払って作られています。から設計されています高純度クォーツ、この台座は拡散を含む半導体プロセスに最適です。ウエハースプロセスとLPCVD。優れた耐熱性と化学的耐久性により、要求の厳しい環境に最適です。
セミセラでは品質を優先し、溶融石英ガラス製品が最高の基準を満たしていることを保証します。溶融石英台座は性能を向上させるだけでなく、信頼性の高い溶融石英ガラスのオプションを求めるユーザーにコスト効率の高いソリューションを提供します。半導体石英用途やその他の特殊な用途に必要な場合でも、当社の台座は耐久性と精度が際立っています。
溶融石英素材の利点
1.高温耐性
溶融石英台座は約 1730°C の軟化点を誇り、1100°C ～ 1250°C の温度範囲での長期間の使用に耐えます。さらに、1450℃もの高温に短期間さらされても耐えることができます。
2.耐食性
溶融石英ペデスタルは、フッ化水素酸を除くほとんどの酸に対して化学的に不活性です。その耐酸性はセラミックスの30倍、ステンレス鋼の150倍を上回ります。高温における溶融石英の化学的安定性に匹敵する材料は他にないため、過酷な化学環境には理想的な選択肢となります。
3. 熱安定性
溶融石英ペデスタルの際立った特徴の 1 つは、熱膨張係数が最小限であることです。この特性により、亀裂が生じることなく、厳しい温度変化に耐えることができます。たとえば、1100°C まで急速に加熱した後、損傷を受けることなく室温で水に浸漬することができます。これは、高応力の製造プロセスに不可欠な特性です。
