フロートゾーンウェーハはフローティングゾーンメルト法(フロートゾーンメルト法)によって成長し、ゾーンメルトウェーハ、FZウェーハとも呼ばれ、高純度のシリコンウェーハであり、シリコンウェーハのCZ単結晶直延プロセスを置き換えることができます。CZ 法を使用して製造されたウェーハと比較して、ゾーンウェーハには、るつぼが不要、生産負荷が低い、融点制限がないなどの多くの利点があり、太陽電池モジュール、RF デバイス、精密パワーデバイスなどのアプリケーションに最適です。 FZウェーハは酸素や炭素の不純物濃度が低く、機械的強度を向上させるために窒素が特別に添加されています。
アイテム | 口論 | サンプルお問い合わせ |
量: |
| 100個 |
成長方法: | フロートゾーン | FZ |
直径: | 50/75/100/150/200/300mm | 100mm |
タイプ/ドーパント: | P型 / N型 / 固有 | N型 |
向き: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>またはその他 | <100> |
抵抗率: | 100~30,000Ω・cm | 3000オーム・センチメートル |
厚さ: | 275μm~775μm | 500um |
仕上げる: | SSP/DSP | DSP |
アパート: | ノッチ/2 SEMI標準フラット | ノッチ |
ボウ/ワープ: | <10 μm | <40um |
テレビ: | <5 μm | <20um |
学年: | プライム/テスト/ダミー | プライム |