炭化ケイ素はコストパフォーマンスが高く、優れた材料特性を備えた新しいタイプのセラミックスです。炭化ケイ素は、高い強度と硬度、高温耐性、優れた熱伝導率、耐化学腐食性などの特徴により、ほぼすべての化学媒体に耐えることができます。したがって、SiC は石油採掘、化学、機械、空域で広く使用されており、原子力エネルギーや軍事でも SIC に対する特別な需要があります。当社が提供できる通常の用途としては、ポンプ、バルブ、防護服などのシールリングがあります。
お客様のご指定の寸法に合わせて、高品質かつ妥当な納期で設計および製造することができます。
安定した信頼性を提供できます炭化ケイ素クリスタルボート、炭化ケイ素パドル、炭化ケイ素炉管4 インチから 6 インチの半導体ウェーハ業界向け。ウェーハを汚染することなく、純度は 99.9% に達します。
炭化ケイ素炉管主に4～6インチのシリコンウェハ、LTO=シリカ、SIPOS=オキシポリシリコン、SI3N4=窒化シリコン、PSG=リンシリコンガラス、POLY=ポリシリコン膜成長に使用されます。原料ガス（または液体原料ガス化）を熱エネルギーによって活性化し、基板表面に固体膜を生成するものです。低圧化学気相成長法は、低圧で行われ、圧力が低いためガス分子の平均自由行程が大きく、成長膜の均一性が良く、基板を垂直に設置することができ、成膜量を増やすことができます。負荷が大きく、特に大規模集積回路、ディスクリートデバイス、パワーエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスデバイス、光ファイバおよびその他の産業用特殊装置の工業生産に適しています。
アプリケーション:
-耐摩耗分野: ブッシング、プレート、サンドブラストノズル、サイクロンライニング、研削バレルなど...
-高温分野：SiCスラブ、焼入れ炉管、ラジアントチューブ、るつぼ、発熱体、ローラー、ビーム、熱交換器、冷気パイプ、バーナーノズル、熱電対保護管、SiCボート、キルンカー構造物、セッターなど。
-軍事防弾フィールド
-炭化ケイ素半導体：SiCウェーハボート、SICチャック、SICパドル、SICカセット、SIC拡散管、ウェーハフォーク、吸着プレート、ガイドウェイなど。
-炭化ケイ素シール分野：あらゆる種類のシールリング、ベアリング、ブッシュなど。
-太陽光発電分野：カンチレバーパドル、研削バレル、炭化ケイ素ローラーなど。
-リチウム電池分野
技術的パラメータ
