炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター、6 インチウェーハキャリア 6 枚

グラファイトサセプター炭化ケイ素コーティング、6個6インチウェーハキャリアsemicera の製品は、高性能エピタキシャル成長アプリケーションに優れた耐久性と熱伝導性を提供します。 Semicera は、次のようなプロセスを強化するように設計された高度なサセプタを専門としています。SiエピタキシーそしてSiCエピタキシー、要求の厳しい半導体環境において信頼性の高いパフォーマンスを保証します。

このサセプタは、以下の用途に特別に設計されています。MOCVDサセプタPSS エッチング キャリア、ICP エッチング キャリア、RTP キャリアなどのさまざまなキャリアとの互換性を提供します。単結晶シリコンの製造や LED エピタキシャル サセプタのセットアップに最適で、バレル サセプタやパンケーキ サセプタの設計など、さまざまな構成で多用途性を提供します。

炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプターは、太陽光発電部品との統合を通じて太陽エネルギー分野のアプリケーションもサポートし、SiC 上の GaN エピタキシープロセスに優れています。 6 インチのウェーハキャリア容量により高いスループットが保証され、半導体および太陽光発電産業のメーカーにとって不可欠なツールとなっています。