MOCVD基板用発熱体

簡単な説明:

Semicera の MOCVD 基板用発熱体は、有機金属化学蒸着 (MOCVD) プロセスにおいて正確かつ安定した温度制御を提供するように設計されています。高品質のグラファイトで作られたこれらの発熱体は、優れた熱伝導率、均一な加熱、長期信頼性を提供します。半導体製造、LED 製造、先端材料アプリケーションに最適なセミセラの発熱体は、一貫したパフォーマンスを保証し、MOCVD 基板プロセスを最適化して効率と品質を最大化します。


製品詳細

製品タグ

グラファイトヒーターの主な特徴:

1. 加熱構造の均一性。

2. 良好な導電性と高い電気負荷。

3.耐食性。

4. 非酸化性。

5. 高い化学純度。

6. 高い機械的強度。

利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスが少ないことです。酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの全ての部品を生産できます。

MOCVD-基板-ヒーター-MOCVD3 用発熱体-300x300

グラファイトヒーターの主なパラメータ

技術仕様

セミセラ-M3

かさ密度 (g/cm3)

≥1.85

灰分含有量 (PPM)

≤500

ショア硬度

≥45

比抵抗(μ.Ω.m)

≤12

曲げ強さ(Mpa)

40以上

圧縮強度(Mpa)

70以上

最大。粒径(μm)

≤43

熱膨張係数 Mm/℃

≤4.4*10-6

MOCVD基板ヒーター_MOCVD用発熱体
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