高純度水晶ボートはカスタマイズ可能です

簡単な説明:

半導体 IC の製造プロセスでは、チップの搬送、洗浄、処理にツールを使用する必要があることがよくあります。チップを運ぶツールは一般にウェーハ ボートと呼ばれ、ウェーハ スロットには多数のウェーハ スロットが設けられています。ウェーハを配置するために使用されます。半導体ウェーハの製造工程において、ファーネスチューブの拡散工程は基本的な工程の一つです。拡散プロセスでは、まず複数のウェーハを水晶ボートに置き、次に水晶ボートを炉心管に入れてバッチ製造します。


製品詳細

製品タグ

クォーツの利点は次のとおりです。

1、高温耐性。石英ガラスの軟化点温度は約1730℃で、長時間の使用では1150℃、短時間の最高温度は1450℃に達することがあります。

2、耐食性。フッ化水素酸に加えて、高純度石英は他の酸性物質とほとんど反応せず、高温では硫酸、硝酸、塩酸、アクアロイヤルティ、中性塩、炭素および硫黄の侵食に耐えることができます。耐酸性はセラミックの 30 倍、ステンレス鋼の 150 倍であり、特に高温での化学的安定性は他のエンジニアリング材料の追随を許しません。

3、良好な熱安定性。高純度石英の熱膨張係数は非常に小さく、激しい温度変化にも耐えることができ、高純度石英は約1100℃まで加熱されても常温の水の中でも破裂することはありません。

4、良好な光透過性能。高純度石英は紫外から赤外までの全スペクトル帯域で良好な光透過性能を持ち、可視光線透過率は93%以上、特に紫外スペクトル領域では光線透過率が80%以上と大きい。

5、優れた電気絶縁性能。高純度石英の抵抗値は通常の石英ガラスの1万倍に相当し、電気絶縁性に優れ、高温でも電気特性が良好な素材です。

フェローテック精密石英

セミセラエナジーは、精密加工技術、溶接技術、表面処理(洗浄)技術という3つのコア技術的優位性と、世界的視野を持った専門技術チームのサポートを頼りに、お客様のニーズを満たすために、さまざまな石英製品を生産することができます。 -顧客のために高品質の製品を作りました。

 

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