説明
炭化ケイ素セラミックスは、室温で高強度、高硬度、高弾性率などの優れた機械的特性を有し、また、高熱伝導率、低熱膨張係数、良好な比剛性および光学特性などの優れた高温安定性も備えています。処理性能。
これらは、リソグラフィー装置などの集積回路装置用の精密セラミック部品の製造に特に適しており、主に SiC キャリア/サセプタ、SiC ウェーハボート、吸引ディスク、水冷プレート、精密測定用反射板、回折格子およびその他のセラミック構造部品の製造に使用されます。
利点
耐高温性：通常使用1800℃
高熱伝導率：黒鉛材と同等
高硬度：ダイヤモンド、窒化ホウ素に次ぐ硬度
耐食性：強酸やアルカリに対しても腐食せず、耐食性は炭化タングステンやアルミナよりも優れています。
軽量: 低密度、アルミニウムに近い
変形なし: 低い熱膨張係数
耐熱衝撃性：急激な温度変化に耐え、熱衝撃に強く、安定した性能を発揮します。
SICエッチングキャリア、ICPエッチングサセプタなどの炭化ケイ素キャリアは、半導体CVD、真空スパッタリングなどで広く使用されています。当社は、さまざまな用途に合わせてカスタマイズされたシリコンおよび炭化ケイ素材料のウェーハキャリアをお客様に提供できます。
利点
| 財産 | 価値 | 方法 |
| 密度 | 3.21g/cc | 浮き浮きと寸法 |
| 比熱 | 0.66J/g°K | パルスレーザーフラッシュ |
| 曲げ強度 | 450MPa560MPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300° |
| 破壊靱性 | 2.94MPa・m1/2 | マイクロインデント |
| 硬度 | 2800 | ビッカーズ、500g荷重 |
| 弾性率ヤング率 | 450GPa430GPa | 4 ポイントベンド、RT4 ポイントベンド、1300 °C |
| 粒度 | 2～10μm | SEM |
会社概要
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. は、先進的な半導体セラミックスの大手サプライヤーであり、高純度の炭化ケイ素セラミックス (特に再結晶化 SiC) と CVD SiC コーティングを同時に提供できる中国唯一のメーカーです。また、当社はアルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、窒化珪素等のセラミックス分野にも力を入れております。
当社の主力製品には、炭化ケイ素エッチングディスク、炭化ケイ素ボート牽引、炭化ケイ素ウェーハボート（太陽光発電および半導体）、炭化ケイ素炉管、炭化ケイ素カンチレバーパドル、炭化ケイ素チャック、炭化ケイ素ビーム、CVD SiCコーティングおよびTaCが含まれます。コーティング。結晶成長、エピタキシー、エッチング、パッケージング、コーティング、拡散炉などの装置など、主に半導体および太陽光発電産業で使用される製品。
輸送
