セミセラ高純度炭化ケイ素パドルは、現代の半導体製造プロセスの厳しい要求を満たすために細心の注意を払って設計されています。これSiCカンチレバーパドル高温環境に優れ、比類のない熱安定性と機械的耐久性を提供します。 SiC カンチレバー構造は極端な条件に耐えるように構築されており、さまざまなプロセス全体にわたって信頼性の高いウェーハハンドリングを保証します。
の主要なイノベーションの 1 つSiCパドル軽量でありながら堅牢な設計により、既存のシステムに簡単に統合できます。その高い熱伝導率は、エッチングや堆積などの重要な段階でのウェーハの安定性の維持に役立ち、ウェーハ損傷のリスクを最小限に抑え、より高い生産歩留まりを保証します。パドル構造に高密度の炭化ケイ素を使用することで、耐摩耗性が向上し、動作寿命が延長され、頻繁な交換の必要性が軽減されます。
Semicera はイノベーションを重視し、SiCカンチレバーパドル業界標準を満たしているだけでなく、それを超えています。このパドルは、蒸着からエッチングまで、精度と信頼性が重要なさまざまな半導体アプリケーションでの使用に最適化されています。この最先端のテクノロジーを統合することで、メーカーは効率の向上、メンテナンスコストの削減、および一貫した製品品質を期待できます。
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 代表値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC含有量 | > 99.96% |
無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |