固体 CVD シリコンカーバイド部品は、システムに必要な高い動作温度 (>1500℃) で動作する RTP/EPI リングおよびベース、およびプラズマエッチングキャビティ部品の主な選択肢として認識されており、純度の要件は特に高く (>99.9995%)、耐薬品性が特に高い場合に特に優れた性能を発揮します。これらの材料は粒子の端に二次相を含まないため、その成分が生成する粒子の量は他の材料よりも少なくなります。さらに、これらのコンポーネントは熱 HF/HCl を使用してほとんど劣化せずに洗浄できるため、粒子が減り、耐用年数が長くなります。
