セミセラが高品質半導体を導入炭化ケイ素カンチレバーパドル、現代の半導体製造の厳しい要求を満たすように設計されています。
の炭化ケイ素パドル熱膨張と歪みを最小限に抑える高度な設計が特徴で、極端な条件下でも高い信頼性を実現します。その堅牢な構造により耐久性が向上し、破損や摩耗のリスクが軽減されます。これは、高い歩留まりと一貫した生産品質を維持するために重要です。のウエハーボートまた、この設計は標準の半導体処理装置とシームレスに統合されており、互換性と使いやすさが保証されています。
セミセラの大きな特徴の一つSiCパドル耐薬品性があり、腐食性ガスや化学物質にさらされる環境でも優れた性能を発揮します。 Semicera はカスタマイズに重点を置いているため、カスタマイズされたソリューションが可能です。
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 代表値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC含有量 | > 99.96% |
無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |