炭化タンタル (TaC) コーティングされたウェハ サセプタ

簡単な説明:

炭化タンタルコーティングは、炭化タンタル材料を使用して基材の表面に硬く、耐摩耗性、耐腐食性の保護層を形成する高度な表面コーティング技術です。このコーティングは、摩擦や摩耗を軽減しながら、材料の硬度、高温耐性、耐薬品性を大幅に向上させる優れた特性を持っています。炭化タンタルコーティングは、材料寿命の延長、生産効率の向上、メンテナンスコストの削減を目的として、工業製造、航空宇宙、自動車工学、医療機器などのさまざまな分野で広く使用されています。金属表面を腐食から保護する場合でも、機械部品の耐摩耗性や耐酸化性を高める場合でも、炭化タンタルコーティングはさまざまな用途に信頼できるソリューションを提供します。


製品詳細

製品タグ

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター)、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためであり、セミセラセミセラは、炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

 

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。

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TaCありとなし

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TaC使用後(右)

さらに、セミセラの TaC コーティング製品の耐用年数は、SiC コーティングよりも長く、高温に対する耐性が優れています。長期間にわたる実験室測定データの後、当社の TaC は最大摂氏 2300 度で長時間動作することができます。以下はサンプルの一部です。

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(a) PVT法によるSiC単結晶インゴット育成装置の概略図 (b) 上部TaCコーティングシードブラケット(SiCシードを含む) (c) TACコーティンググラファイトガイドリング

ZDFVzCFV
主な特長
セミセラ作業所
セミセラ作業場2
設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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