LMJ加工のメリット
通常のレーザー加工に固有の欠陥は、レーザー レーザー マイクロ ジェット (LMJ) テクノロジーを賢く利用して、水と空気の光学特性を伝播することで克服できます。この技術により、加工された高純度ウォータージェット内で完全に反射されたレーザーパルスが、光ファイバーと同様に、邪魔されることなく加工表面に到達することが可能になります。
LMJ テクノロジーの主な特徴は次のとおりです。
1. レーザービームは柱状（平行）構造です。
2. レーザー パルスは、環境による干渉を受けることなく、光ファイバーのようにウォーター ジェット内で伝送されます。
3. LMJ装置内でレーザー光が集光され、加工面の高さは加工工程全体を通じて変化しないため、加工中に加工深さの変化に合わせて集光し続ける必要がありません。
4. 表面を継続的に清掃します。
5. 各レーザーパルスによる加工材料のアブレーションに加え、各パルスの開始から次のパルスまでの単位時間ごとに、加工材料は時間の約 99% の間、リアルタイムの冷却水状態にあります。これにより、熱影響部と再溶融層がほぼ除去されますが、高い処理効率が維持されます。
| 一般仕様 | LCSA-100 | LCSA-200 |
| カウンタートップのボリューム | 125×200×100 | 460×460×300 |
| 直線軸XY | リニアモーター。リニアモーター | リニアモーター。リニアモーター |
| 直線軸 Z | 100 | 300 |
| 位置決め精度 μm | +/-5 | +/-3 |
| 繰り返し位置決め精度 μm | +/-2 | +/-1 |
| 加速G | 0.5 | 1 |
| 数値制御 | 3軸 | 3軸 |
| Lアセル |
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| レーザーの種類 | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd:YAG、パルス |
| 波長 nm | 532/1064 | 532/1064 |
| 定格電力 W | 50/100/200 | 200/400 |
| ウォータージェット |
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| ノズル径μm | 25-80 | 25-80 |
| ノズルプレッシャーバー | 100-600 | 0-600 |
| サイズ/重量 |
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| 寸法（機械） (幅×長さ×高さ) | 1050×800×1870 | 1200×1200×2000 |
| 寸法 (制御盤) (幅 x 長さ x 高さ) | 700×2300×1600 | 700×2300×1600 |
| 重量（装備）kg | 1170 | 2500-3000 |
| 重量（制御盤）kg | 700-750 | 700-750 |
| 総合エネルギー消費量 |
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| I入力 | AC230V +6%/-10%、単方向 50/60Hz ±1% | AC400V +6%/-10%、三相50/60Hz ±1% |
| ピーク値 | 2.5kVA | 2.5kVA |
| Jおいん | 10m電源ケーブル：P+N+E、1.5mm2 | 10m電源ケーブル：P+N+E、1.5mm2 |
| 半導体業界のユーザーのアプリケーション範囲 | ≤4インチの丸型インゴット ≤4インチのインゴットスライス ≤4インチのインゴットスクライビング
| ≤6インチの丸型インゴット ≤6インチのインゴットスライス ≤6インチのインゴットスクライビング この機械は 8 インチの円形/スライス/スライスの理論値を満たしていますが、具体的な実際の結果を得るには、切断戦略を最適化する必要があります。 |
