LiNbO3 接合ウェーハ

簡単な説明:

ニオブ酸リチウム結晶は、優れた電気光学特性、音響光学特性、圧電特性、および非線形特性を備えています。ニオブ酸リチウム結晶は、優れた非線形光学特性と大きな非線形光学係数を備えた重要な多機能結晶です。重要ではない位相整合も実現できます。電気光学結晶として、重要な光導波路材料として使用されています。圧電結晶として、中周波および低周波 SAW フィルター、高出力、高温耐性の超音波トランスデューサーなどの製造に使用できます。ドープされたニオブ酸リチウム材料も広く使用されています。

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製品詳細

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Semicera の LiNbO3 ボンディングウェーハは、高度な半導体製造の高い要求を満たすように設計されています。優れた耐摩耗性、高い熱安定性、卓越した純度などの優れた特性を備えたこのウェーハは、精度と長期にわたる性能が必要な用途での使用に最適です。

半導体業界では、LiNbO3 接合ウェーハは、光電子デバイス、センサー、先進的な IC の薄層を接合するために一般的に使用されています。これらは、優れた誘電特性と過酷な動作条件に耐える能力により、フォトニクスおよび MEMS (微小電気機械システム) で特に高く評価されています。 Semicera の LiNbO3 ボンディングウェーハは、正確な層ボンディングをサポートするように設計されており、半導体デバイスの全体的なパフォーマンスと信頼性を向上させます。

LiNbO3 の熱的および電気的特性
融点	1250℃
キュリー温度	1140℃
熱伝導率	38 W/m/K @ 25 ℃
熱膨張係数 (@ 25°C)	//a，2.0×10^-6/K //c，2.2×10^-6/K
抵抗率	2×10^-6Ω・cm @ 200℃
誘電率	εS11/ε0=43、εT11/ε0=78 εS33/ε0=28、εT33/ε0=2
圧電定数	D₂₂=2.04×10^-11C/N D₃₃=19.22×10^-11C/N
電気光学係数	γT₃₃=32pm/V、γS₃₃=午後31時/V、 γT₃₁=10pm/V、γS₃₁=午後8時6分/V、 γT₂₂=6.8pm/V、γS₂₂=3.4午後/V、
半波電圧、DC 電場 // z、光 ⊥ Z; 電場 // x または y、光 ⊥ z	3.03KV 4.02KV

最高品質の材料を使用して作られた LiNbO3 ボンディングウェーハは、極端な条件下でも一貫した信頼性を保証します。熱安定性が高いため、半導体エピタキシープロセスなどの高温を伴う環境に特に適しています。さらに、ウェーハの高純度により汚染が最小限に抑えられるため、重要な半導体アプリケーションにとって信頼できる選択肢となります。

Semicera では、業界をリードするソリューションを提供することに尽力しています。当社の LiNbO3 ボンディングウェーハは、高純度、耐摩耗性、熱安定性が必要な用途に比類のない耐久性と高性能機能を提供します。高度な半導体製造であっても、その他の特殊な技術であっても、このウェーハは最先端のデバイス製造に不可欠なコンポーネントとして機能します。