半導体グレードのグラッシーカーボンコーティングの紹介

I. ガラス状炭素構造の概要

特徴:

(1) ガラス状カーボンの表面は滑らかで、ガラス状の構造を持っています。

(2) ガラス状カーボンは硬度が高く、発塵が少ない。

(3) ガラス状炭素は ID/IG 値が大きく、黒鉛化度が非常に低いため、断熱性能が優れています。

(4) ガラス状炭素は、良好な高温耐性と高温での強い安定性を備えた難黒鉛化炭素です。

(5) ガラス状炭素は反応表面積が小さく耐薬品性に​​も優れており、酸素やシリコンなどによる侵食に対しても優れています。

II.グラッシーカーボンコーティングのご紹介

フレークグラファイトコーティングの表面細孔は分散しており、構造が緩いのに対し、グラッシーカーボンコーティングは構造が緻密で脱落しません。

1. グラッシーカーボンコーティングの抗酸化性能

(1)ラミネートハードフェルト
ガラス状炭素コーティングはハードフェルトの抗酸化性能を効果的に向上させます。

(2)短繊維ハードフェルト
フェルト全体は多孔性が高く、酸素チャネルを提供します。フレークグラファイトコーティングは緩い構造を持ち、酸素チャネルが少なく、抗酸化性能が向上しています。コーティングされたガラス状炭素コーティングは、緻密な構造を持ち、酸素チャネルが少なく、最高の抗酸化性能を備えています。

2. ガラス状炭素コーティングのアブレーションに対する高温安定性
プレーンフェルトの多孔質構造は熱を減衰させることができます（熱対流熱放散）。グラファイトペーパーはアブレーション時に水膨れが発生しやすいです。ガラス状炭素コーティングのアブレーション深さは最も浅く、そのアブレーション抵抗は最も強い。グラッシーカーボンコーティングは優れた断熱性能を持っています。

3. グラッシーカーボンコーティングの耐Si侵食性能
短繊維のハードフェルトはSiによって侵食され、粉末になります。フレークグラファイトコーティングは、短期的には Si 浸食に対する耐性を備えています。ガラス状カーボンコーティングは最高の耐浸食性能を持っています。

Si 侵食の主な理由は、Si のガス化が硬いフェルトの表面を直接侵食し、その結果粉末化が生じることです。一方、ガラス状カーボンコーティングの炭素構造はより安定しており、耐浸食性能が優れています。

まとめ

グラッシーカーボンコーティングシステムは、断熱材に使用されるだけでなく、グラファイト部品の表面に直接使用されることも期待されています。C/Cパーツ、材料の総合的なサービスパフォーマンスを効果的に向上させます。