フォトレジストは現在、光電子情報産業における微細なグラフィック回路の処理と製造に広く使用されています。フォトリソグラフィープロセスのコストはチップ製造プロセス全体の約 35% を占め、時間消費はチッププロセス全体の 40% ～ 60% を占めます。半導体製造の中核となる工程です。フォトレジスト材料はチップ製造材料の総コストの約4%を占め、半導体集積回路製造の中核材料です。
中国のフォトレジスト市場の成長率は国際レベルよりも高い。展望産業研究院のデータによると、2019年の我が国のフォトレジストの現地供給額は約70億元で、2010年以降の複合成長率は11％に達しており、世界の成長率をはるかに上回っている。しかし、現地供給は世界シェアの10％程度にとどまっており、国内代替は主にローエンドPCB用フォトレジストにとどまっている。液晶や半導体分野におけるフォトレジストの自給率は極めて低い。
フォトレジストは、光反応後の異なる溶解度を利用してマスク パターンを基板に転写するグラフィック転写媒体です。主に感光剤（光開始剤）、重合剤（感光性樹脂）、溶剤、添加剤で構成されています。
フォトレジストの原料は主に樹脂、溶剤、その他の添加剤です。このうち溶剤が最も大きな割合を占め、一般に８０％以上を占めます。その他の添加剤は質量の 5% 未満を占めていますが、光増感剤、界面活性剤、その他の材料など、フォトレジストの独特の特性を決定する重要な材料です。フォトリソグラフィープロセスでは、フォトレジストがシリコンウェーハ、ガラス、金属などのさまざまな基板上に均一にコーティングされます。露光、現像、エッチングの後、マスク上のパターンがフィルムに転写され、マスクに完全に対応する幾何学的なパターンが形成されます。
フォトレジストは、その下流の応用分野に応じて、半導体フォトレジスト、パネルフォトレジスト、PCBフォトレジストの3つのカテゴリに分類できます。
半導体フォトレジスト
現在でもKrF/ArFが主流の加工材料です。集積回路の発展に伴い、フォトリソグラフィー技術はG線（436nm）リソグラフィー、H線（405nm）リソグラフィー、I線（365nm）リソグラフィー、そして深紫外DUVリソグラフィー（KrF248nmおよびArF193nm）へと発展してきました。 193nm 液浸と複数のイメージング技術 (32nm ～ 7nm)、そして極紫外線へ(EUV、<13.5nm) リソグラフィー、さらには非光学リソグラフィー (電子ビーム露光、イオンビーム露光) や、感光波長として対応する波長を備えたさまざまな種類のフォトレジストも適用されています。
フォトレジスト市場には業界が高度に集中しています。半導体フォトレジストの分野では日本企業は絶対的な優位性を持っています。半導体フォトレジストの主なメーカーには、日本では東京応化、JSR、住友化学、信越化学工業が含まれます。韓国のDongjin Semiconductor。米国ではダウ・デュポン社などがあり、その中で日本企業は約7割のシェアを占めています。製品面では、東京応化はg線/i線およびKrfフォトレジストの分野でトップであり、それぞれ市場シェア27.5%、32.7%を占めています。 JSRはArfフォトレジスト分野で25.6%のトップシェアを誇る。
富士経済の予測によると、世界のArF接着剤とKrF接着剤の生産能力は2023年に1,870トンと3,650トンに達し、市場規模は約49億元と28億元に達すると予想されています。日本のフォトレジスト大手であるJSRとTOKのフォトレジストを含めた売上総利益率は約40％で、そのうちフォトレジストの原材料費が約90％を占めている。
国内の半導体フォトレジストメーカーには、上海信陽、南京オプトエレクトロニクス、京瑞有限公司、北京科華、恒昆有限公司などがある。現在、KrFフォトレジストを量産できるのは北京科華と京瑞有限公司のみである。 、北京科華の製品はSMICに供給されています。上海信陽で建設中の年間19,000トンのArF（乾式プロセス）フォトレジストプロジェクトは、2022年にフル生産に達すると予想されている。
パネルフォトレジスト
フォトレジストは、LCD パネル製造の重要な材料です。さまざまなユーザーによると、RGB 接着剤、BM 接着剤、OC 接着剤、PS 接着剤、TFT 接着剤などに分けることができます。
パネル用フォトレジストには、主に TFT 配線用フォトレジスト、LCD/TP スペーサー用フォトレジスト、カラー フォトレジスト、ブラック フォトレジストの 4 つのカテゴリがあります。このうち、TFT配線用フォトレジストはITO配線に使用され、LCD/TP析出フォトレジストはLCDの2枚のガラス基板間の液晶材料の厚さを一定に保つために使用されます。カラーフォトレジストとブラックフォトレジストは、カラーフィルターに演色機能を与えることができます。
パネル用フォトレジスト市場は安定している必要があり、カラーフォトレジストの需要が先行しています。 2022年には世界販売量が22,900トン、売上高が8億7,700万米ドルに達すると予想されています。
TFTパネル用フォトレジスト、LCD/TPスペーサー用フォトレジスト、ブラックフォトレジストの売上高は、2022年にそれぞれ3億2,100万米ドル、2億5,100万米ドル、1億9,900万米ドルに達すると予想されている。Zhiyan Consultingの推計によれば、世界のパネル用フォトレジスト市場規模は、 2020年の売上高は167億元で、成長率は約4％となっている。私たちの推計によると、フォトレジスト市場は2025年までに203億元に達すると予想されています。その中で、LCD産業センターの移転により、我が国のLCDフォトレジストの市場規模と現地化率は徐々に増加すると予想されます。
PCBフォトレジスト
PCBフォトレジストは塗布方法によりUV硬化インクとUVスプレーインクに分けられます。現在、国内の PCB インクサプライヤーは徐々に国内代替を達成しており、Rongda Photosensitive や Guangxin Materials などの企業は PCB インクの主要技術を習得しています。
国産の TFT フォトレジストと半導体フォトレジストはまだ初期段階にあります。 Jingrui Co., Ltd.、Yak Technology、Yongtai Technology、Rongda Photosensitive、Xinyihua、China Electronics Rainbow、および Feikai Materials はすべて、TFT フォトレジストの分野でレイアウトを持っています。このうち、飛凱材料と北秀電子は最大5,000トン/年の生産能力を計画している。 Yak TechnologyはLG化学のカラーフォトレジスト部門を買収してこの市場に参入しており、チャネルと技術面で優位性を持っている。
フォトレジストなどの技術的障壁が非常に高い産業では、技術レベルでのブレークスルーを達成することが基礎であり、第二に、半導体産業の急速な発展のニーズを満たすためにプロセスの継続的な改善が必要です。
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投稿日時: 2024 年 11 月 27 日