炭化ケイ素角トレーとは

炭化ケイ素角トレー半導体製造・加工用に設計された高性能搬送ツールです。主にシリコンウェーハや炭化ケイ素ウェーハなどの精密材料の搬送に使用されます。炭化ケイ素の非常に高い硬度、高温耐性、耐化学腐食性により、炭化ケイ素角トレイは過酷なプロセス環境で信頼性の高いサポートを提供できます。複雑な環境における製品の安定性を確保するために、ウェーハ製造、光電子デバイスの製造、パワーエレクトロニクスデバイスの処理で広く使用されています。

セミセラ炭化ケイ素角トレーは、精密成形および焼結技術を使用して、トレイが高温処理中に変形しにくく、繰り返し使用する過酷な要件に耐えることができます。従来の石英またはセラミックトレイと比較して、炭化ケイ素角トレイは熱伝導性と耐薬品性に​​おいて大きな利点があり、生産効率と製品歩留まりが大幅に向上します。

セミセラさん炭化ケイ素角トレー優れた熱安定性と寸法精度を備えているため、シリコンウェーハ加工時の熱膨張の問題を効果的に軽減し、製品の品質を向上させることができます。これらのトレイは、さまざまなサイズのウェーハにも対応しており、高い柔軟性と幅広い用途を備えており、さまざまな生産ラインのニーズを満たすことができます。

半導体技術が進歩し続けるにつれて、パレットに対する要件も徐々に増加しています。炭化ケイ素角パレットは、その優れた物理的特性により、ハイエンド半導体製造において推奨される材料の 1 つとなっています。セミセラは、炭化ケイ素角パレットが将来のハイテク製造において重要な役割を果たし続けることを保証するために、その性能を継続的に改善することに取り組んでいます。