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半導体製造におけるSiCコーティンググラファイトサセプターの重要な役割と応用事例
セミセラセミコンダクターは、半導体製造装置のコア部品を世界的に増産する計画だ。 2027年までに総投資額7,000万ドルをかけて2万平方メートルの新工場の設立を目指します。当社の中核コンポーネントの 1 つである炭化ケイ素 (SiC) ウェーハ キャリアは、...続きを読む -
プラズマエッチング装置のフォーカスリングに最適な材質：炭化ケイ素（SiC）
プラズマエッチング装置では、フォーカスリングをはじめとするセラミック部品が重要な役割を果たしています。フォーカスリングはウェーハの周囲に配置され、ウェーハに直接接触しており、リングに電圧を印加してプラズマをウェーハ上に集中させるために不可欠です。これにより、...続きを読む -
グラッシー カーボンがイノベーションと出会うとき: グラッシー カーボン コーティング技術の革命をリードするセミセラ
ガラス状カーボンは、ガラス状カーボンまたはガラス状カーボンとしても知られ、ガラスとセラミックの特性を組み合わせて非黒鉛状炭素材料を形成します。先進的なガラス状カーボン材料の開発の最前線にある企業の中に、カーボンベースのカーボン材料を専門とする大手メーカーであるセミセラがあります。続きを読む -
炭化ケイ素エピタキシャル技術のブレークスルー：中国におけるケイ素/炭化物エピタキシャル・リアクター製造の先頭に立つ
当社は、炭化ケイ素エピタキシー技術における当社の専門知識における画期的な成果を発表できることを大変うれしく思っています。当社の工場は、シリコン/カーバイドエピタキシャルリアクターを製造できる中国の大手メーカーの1つであることを誇りに思っています。卓越した品質へのこだわりにより...続きを読む -
新たな進歩: 当社は炭化タンタルコーティング技術を征服し、部品の寿命を延ばし、歩留まりを向上させました
浙江省、2023 年 10 月 20 日 – 技術進歩に向けた大きな進歩の中で、当社は炭化タンタル (TaC) コーティング技術の開発に成功したことを誇らしげに発表します。この画期的な成果は、業界に大幅な変革をもたらすことを約束します。続きを読む