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半導体製造プロセス - エッチング技術
ウェーハを半導体にするには何百ものプロセスが必要です。最も重要なプロセスの 1 つはエッチング、つまりウェハー上に微細な回路パターンを彫刻することです。エッチング プロセスの成功は、設定された分布範囲内でさまざまな変数を管理することと、各エッチング...続きを読む -
プラズマエッチング装置のフォーカスリングに最適な材質：炭化ケイ素（SiC）
プラズマエッチング装置では、フォーカスリングをはじめとするセラミック部品が重要な役割を果たしています。フォーカスリングはウェーハの周囲に配置され、ウェーハに直接接触しており、リングに電圧を印加してプラズマをウェーハ上に集中させるために不可欠です。これにより、...続きを読む -
炭化ケイ素単結晶処理がウェーハ表面品質に及ぼす影響
半導体パワーデバイスは、パワーエレクトロニクスシステムの中核的な位置を占めており、特に人工知能、5G通信、新エネルギー自動車などの技術の急速な発展に伴い、その性能要件はますます高まっています。続きを読む -
SiC 成長の主要なコア材料: 炭化タンタル コーティング
現在、第 3 世代の半導体は炭化ケイ素が主流です。デバイスのコスト構成は基板が47％、エピタキシーが23％を占める。 2 つは合わせて約 70% を占め、これが炭化ケイ素デバイス製造の最も重要な部分です。続きを読む -
炭化タンタルコーティングされた製品はどのようにして材料の耐食性を向上させますか?
炭化タンタルコーティングは、材料の耐食性を大幅に向上させることができる一般的に使用される表面処理技術です。炭化タンタルコーティングは、化学気相成長法、物理蒸着法などのさまざまな準備方法を通じて基板の表面に取り付けることができます。続きを読む -
昨日、科学技術イノベーション委員会は、Huazhuo Precision Technology が IPO を中止したと発表しました。
中国初の8インチSICレーザーアニール装置の納入を発表したところですが、これも清華社の技術です。なぜ彼らは資料を自ら撤回したのでしょうか？一言: まず、製品が多様すぎるということです。一見すると何をしているのか分かりません。現在、H...続きを読む -
CVD炭化ケイ素コーティング-2
CVD 炭化ケイ素コーティング 1. 炭化ケイ素コーティングが存在する理由 エピタキシャル層は、エピタキシャル プロセスを通じてウェーハをベースに成長させた特定の単結晶薄膜です。基板ウェーハとエピタキシャル薄膜を総称してエピタキシャルウェーハと呼ぶ。その中で、...続きを読む -
SICコーティングの作製工程
現在、SiC コーティングの作製方法には主にゲルゾル法、埋め込み法、ブラシコーティング法、プラズマ溶射法、化学気相反応法 (CVR) および化学気相成長法 (CVD) が含まれます。埋め込み法この方法は、高温固相法の一種です。続きを読む -
CVD炭化ケイ素コーティング-1
CVD SiC とは 化学蒸着 (CVD) は、高純度の固体材料を製造するために使用される真空蒸着プロセスです。このプロセスは、半導体製造分野でウェーハの表面に薄膜を形成するためによく使用されます。 CVD による SiC の製造プロセスでは、基板が研磨されます。続きを読む -
X線トポロジカルイメージングによる光線追跡シミュレーションによるSiC結晶の転位構造の解析
研究の背景 炭化ケイ素 (SiC) の応用の重要性: 炭化ケイ素は、ワイドバンドギャップ半導体材料として、その優れた電気特性 (より大きなバンドギャップ、より高い電子飽和速度、熱伝導率など) により多くの注目を集めています。これらの小道具は...続きを読む -
SiC単結晶育成における種結晶作製プロセス3
成長検証 炭化ケイ素 (SiC) 種結晶は、概要を示したプロセスに従って準備され、SiC 結晶成長を通じて検証されました。成長プラットフォームには自社開発のSiC誘導成長炉を使用し、成長温度2200℃、成長圧力200Pa、成長条件は...続きを読む -
SiC単結晶育成における種結晶作製工程（後編）
2. 実験プロセス 2.1 接着膜の硬化接着剤を塗布した SiC ウェハ上に炭素膜を直接作成するか、グラファイト紙で接着すると、いくつかの問題が発生することが観察されました。 1. 真空条件下では、SiC ウェハ上の接着膜は、次のような理由により鱗状の外観を呈しました。署名する...続きを読む