ウエハキャリアのご紹介
製品カテゴリー
▶PECVD & TALOX プロセス用ウェーハキャリアシステム
• PECVD & TALOX グラファイトボート (M4~M12)
• 垂直 SM ボート (M4、M6)
・インプラント＆シャワーグラファイトパーツ（M4～M6）
・C/Cトレイ＆セラミックコーティング
• 金属RIEトレイとセラミックコーティング
・真空シール：Oリング＆SQリング
▶テクスチャリング＆ウェットエッチング転写プロセス
・LSC Hキャリアまたはカセット（M4～M12）
・LSC Vキャリアまたはカセット（M4～M12）
・ASC キャリアまたはカセット（M4、M6）
・キャリア＆収納ボックス付（M4～M12）
・搬送ホイール（ローラー）シリーズ
▶太陽電池キャリア＆メタルキャリア
・TRCキャリアまたはカセット（M4～M12）
・マガジン(ベルト付き)
グラファイトボート(Hタイプ)
19P6-216CT (WF M4～M12)
グラファイトボート(Hタイプ)
21P6-240CT WF M4～M12)
グラファイトボート(Hタイプ)
23P7-308CT(M4～M12付)
グラファイトボート(Hタイプ)
22P/7-294TP(M4～M12付)
グラファイトボート(Hタイプ)
W182-22P7-294CT (M12付き)
W182-21P6-240CT (M12付き)
WFキャリア&収納ボックス(~M12)
C/Cトレイまたはキャリア(M4～M10)
C/Cトレイまたはキャリア(M4～M10)
バーティカルボート(SM) M6
LSC-H-キャリア(～M12)
LSC-V-キャリア(～M12)
ASCキャリア（～M6）
TRCキャリア(～M12)
TRCキャリア(～M12)
グラファイトボート(M12)
PECVDプロセス用ウェーハキャリアシステム
▶ グラファイトボート (CT 設計) M10/M12 プロセス
• 特別なデザインコンセプト
▶ グラファイトボート (CT 設計) M4/M6 プロセス
▶ ボートアクセサリーパーツ
▶ 垂直ボート-161.7mm ウェーハ
▶ バーティカルボート-166mmウエハー
▶ 垂直ボート - 161.7mm、166mm ウェーハ
太陽電池キャリア＆メタルTRCキャリア
タイプ : オートメーション
ウエハーサイズ : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
用途：キャリー（カセット）
容量：100枚
ピッチ: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
寸法：約559×220×220MM
約712×260×260MM
利点 : 雰囲気
材質 : フレーム、サイドバー - アルミニウム (アルマイト処理)
サイドプレート-POM（帯電防止）
ボトムバーのカバー - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALキャリア（ユーザーライン）
TRC-METALキャリア（ユーザーライン）
TRC-METALキャリア（ユーザーライン）
シャワープレート＆インプラント、キャリア
