セミセラを喜んで提供しますPFAカセット、耐薬品性と耐久性が最も重要な環境でのウェーハ取り扱いのための優れた選択肢です。高純度のパーフルオロアルコキシ (PFA) 素材から作られたこのカセットは、半導体製造における最も厳しい条件に耐えられるように設計されており、ウエハーの安全性と完全性を保証します。
比類のない耐薬品性のPFAカセットは、幅広い化学薬品に対して優れた耐性を提供するように設計されており、攻撃的な酸、溶剤、その他の強力な化学薬品を使用するプロセスに最適です。この堅牢な耐薬品性により、最も腐食性の高い環境でもカセットが無傷で機能し続けることが保証されるため、カセットの寿命が延び、頻繁な交換の必要性が軽減されます。
高純度構造セミセラさんPFAカセットは超高純度の PFA 素材から製造されており、これはウェーハ処理中の汚染を防ぐ上で重要です。この高純度構造により、粒子の発生や化学的浸出のリスクが最小限に抑えられ、品質を損なう可能性のある不純物からウェーハが確実に保護されます。
耐久性とパフォーマンスの向上耐久性を重視して設計されており、PFAカセット極端な温度や厳しい加工条件下でも構造の完全性を維持します。高温にさらされても、繰り返し扱われても、このカセットはその形状と性能を維持し、要求の厳しい製造環境において長期的な信頼性を提供します。
安全な取り扱いのための精密エンジニアリングのセミセラ PFA カセット安全かつ安定したウェーハハンドリングを保証する正確なエンジニアリングを備えています。各スロットはウェーハを所定の位置にしっかりと保持するように慎重に設計されており、損傷を引き起こす可能性のある動きやずれを防ぎます。この精密エンジニアリングにより、一貫した正確なウェーハ配置がサポートされ、全体的なプロセス効率に貢献します。
プロセス全体にわたる汎用性の高いアプリケーションその優れた材料特性のおかげで、PFAカセット半導体製造のさまざまな段階で使用できる多用途性を備えています。特に、ウェット エッチング、化学蒸着 (CVD)、および過酷な化学環境を伴うその他のプロセスに適しています。その適応性により、プロセスの完全性とウェーハの品質を維持する上で不可欠なツールとなります。
品質と革新への取り組みセミセラでは、最高の業界基準を満たす製品を提供することに尽力しています。のPFAカセットはこの取り組みを体現し、製造プロセスにシームレスに統合される信頼性の高いソリューションを提供します。各カセットは厳格な品質管理を経て、当社の厳格な性能基準を満たしていることを確認し、セミセラに期待される卓越性をお届けします。
アイテム | 生産 | 研究 | ダミー |
クリスタルパラメータ | |||
ポリタイプ | 4H | ||
面方位エラー | <11-20 >4±0.15° | ||
電気的パラメータ | |||
ドーパント | n型窒素 | ||
抵抗率 | 0.015~0.025Ω・cm | ||
機械的パラメータ | |||
直径 | 150.0±0.2mm | ||
厚さ | 350±25μm | ||
プライマリフラット方向 | [1-100]±5° | ||
一次平坦長さ | 47.5±1.5mm | ||
二次フラット | なし | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm |
LTV | ≤3μm(5mm*5mm) | ≤5μm(5mm*5mm) | ≤10μm(5mm*5mm) |
弓 | -15μm~15μm | -35μm~35μm | -45μm~45μm |
ワープ | ≤35μm | ≤45μm | ≤55μm |
表面(Si面)粗さ(AFM) | Ra≦0.2nm (5μm*5μm) | ||
構造 | |||
マイクロパイプ密度 | <1ea/cm2 | <10ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
金属不純物 | ≤5E10原子/cm2 | NA | |
境界性パーソナリティ障害 | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
フロント品質 | |||
フロント | Si | ||
表面仕上げ | Si面CMP | ||
粒子 | ≤60ea/ウェーハ (サイズ≧0.3μm) | NA | |
傷 | ≤5ea/mm。累積長さ ≤ 直径 | 累積長さ≤2*直径 | NA |
オレンジの皮/穴/汚れ/縞模様/ひび割れ/汚染 | なし | NA | |
エッジ欠け/圧痕/欠損/六角プレート | なし | ||
ポリタイプ領域 | なし | 累積面積≤20% | 累積面積≤30% |
前面レーザーマーキング | なし | ||
バック品質 | |||
裏面仕上げ | C面CMP | ||
傷 | ≤5ea/mm、累積長さ≤2*直径 | NA | |
裏面欠陥(エッジ欠け/凹み) | なし | ||
裏面粗さ | Ra≦0.2nm (5μm*5μm) | ||
背面のレーザーマーキング | 1mm(上端から) | ||
角 | |||
角 | 面取り | ||
包装 | |||
包装 | 真空包装でエピ対応可能 マルチウエハカセットパッケージング | ||
※注:「NA」は要望なしを意味します。 記載のない項目についてはSEMI-STDを参照している可能性があります。 |