半導体石英: 現代のエレクトロニクスにおける重要なコンポーネント
石英材料の紹介
石英（SiO₂）は一見ガラスに似ていますが、その独特な性質がガラスとは異なります。複数の成分（ケイ砂、ホウ砂、炭酸バリウム、石灰石、長石、ソーダなど）で構成される標準的なガラスとは異なり、石英は SiO₂ のみで構成されています。これにより、二酸化ケイ素の四面体ユニットによって形成された単純なネットワーク構造が得られます。.
高純度水晶の意義
高純度の石英は、ガラス材料の「王冠の宝石」とも呼ばれ、金属不純物が最小限に抑えられているため、優れた特性を備えています。この注目すべき材料はさまざまな半導体プロセスに不可欠であり、次のような利点を誇ります。
1. 高温耐性: 軟化点が約 1730°C の石英は、1150°C での長期使用に耐え、1450°C までの短時間のバーストに耐えることができます。
2. 耐薬品性: 高純度石英は、ほとんどの酸 (フッ化水素酸を除く) に対して最小限の反応性を示し、化学的攻撃に対して優れた安定性を示し、セラミックの 30 倍、ステンレス鋼の 150 倍の耐酸性を示します。
3. 熱安定性: 高純度の石英は熱膨張係数が非常に低いため、急激な温度変化にも割れることなく耐えることができます。
4. 光学的透明性: この素材は、可視光透過率が 93% 以上、紫外線透過率が 80% 以上に達し、広いスペクトルにわたって高い透過率を維持します。
5. 電気絶縁性: 高純度の石英は優れた電気抵抗を示し、高温でも優れた絶縁体となります。
半導体業界でのアプリケーション
これらの優れた物理的および化学的特性により、高純度石英は現代のエレクトロニクス、通信、半導体産業で広く使用されています。シリコンウェーハの需要の高まりにより、特にチップ製造において石英コンポーネントの必要性が大幅に増加しています。
半導体製造における水晶の主な用途:
1. 高温デバイス:
·石英炉管:これらのチューブは、拡散、酸化、アニーリングなどのプロセスに不可欠であり、半導体製造中の高温安定性と効率を保証します。
・クォーツボート：シリコンウェーハの輸送と処理に使用される石英ボートは、拡散プロセスでのバッチ製造を容易にします。
2. 低温デバイス:
・クォーツリング：エッチングプロセスに不可欠な石英リングは汚染を防ぎ、リソグラフィーやパターニング中の正確な製造を保証します。
·クォーツ洗浄バスケットとタンク:これらのコンポーネントはシリコンウェーハの洗浄に不可欠です。洗浄効率を高めるために接触面積を最小限に抑えながら、酸やアルカリに耐える必要があります。
結論
石英部品は半導体製造プロセスでは些細な消耗品に見えるかもしれませんが、半導体デバイスの品質と信頼性を確保する上で重要な役割を果たしています。 Techcet によると、電子情報産業における世界の年間生産量の約 90% を高純度石英ガラス材料が占めています。
セミセラでは、高性能石英材料を提供することで半導体産業の発展に尽力しています。構造の完全性にとって釘が不可欠であるのと同様に、半導体製造には石英も不可欠です。
2. 低温デバイス:
·クォーツリング: エッチングプロセスに不可欠な石英リングは汚染を防ぎ、リソグラフィーやパターニング中の正確な製造を保証します。
·石英製洗浄バスケットおよびタンク: これらのコンポーネントはシリコンウェーハの洗浄に不可欠です。洗浄効率を高めるために接触面積を最小限に抑えながら、酸やアルカリに耐える必要があります。
結論
石英部品は半導体製造プロセスでは些細な消耗品に見えるかもしれませんが、半導体デバイスの品質と信頼性を確保する上で重要な役割を果たしています。 Techcet によると、電子情報産業における世界の年間生産量の約 90% を高純度石英ガラス材料が占めています。
セミセラでは、高性能石英材料を提供することで半導体産業の発展に尽力しています。構造の完全性にとって釘が不可欠であるのと同様に、半導体製造には石英も不可欠です。
