Semicera の硬質フェルトるつぼは、耐久性、優れた断熱性、構造的完全性を兼ね備え、高温環境の厳しいニーズを満たすように作られています。高品質の硬質フェルトで作られたこのるつぼは、優れた熱安定性と耐摩耗性を実現するように設計されており、信頼性と長期的なパフォーマンスを保証します。高純度の組成と低い熱伝導率により、半導体製造、冶金、先端材料加工など、極端な温度の正確な制御が必要な産業にとって理想的なソリューションとなります。
最適なパフォーマンスを実現する最先端の素材で設計
Semicera 硬質フェルトるつぼは、等方性グラファイト、多孔質グラファイト、グラファイト フォイルなどの特殊な材料を統合して、熱安定性を高め、熱損失を最小限に抑えます。これらの材料は高純度で優れた耐熱衝撃性で知られており、るつぼは高熱下でも形状と強度を維持できます。リジッドフェルトと、ソフトフェルトやC/Cコンポジットなどの先進的なコンポーネントの組み合わせにより、るつぼに優れた断熱特性が与えられ、高精度プロセスにおける汚染や摩耗のリスクが軽減されます。
製品詳細
| 製品名 | グラファイトフェルト |
| 化学組成 | 炭素繊維 |
| かさ密度 | 0.12～0.14g/cm3 |
| 炭素含有量 | >=99% |
| 抗張力 | 0.14MPa |
| 熱伝導率(1150℃) | 0.08～0.14W/mk |
| 灰 | <=0.005% |
| 押しつぶすストレス | 8～10N/cm |
| 厚さ | 1～10mm |
| 処理温度 | 2500(℃) |
現在、生または加工された製品を提供するために 4 つのグレードが用意されています。
SCRF:精製硬化黒鉛繊維ハードフェルト、熱処理温度1900℃以上
SCRF-P:高純度RGBハードフェルト
SCRF-LTC:精製固化黒鉛繊維ハードフェルト、熱処理温度1900℃以上、より優れた断熱性能
SCRF-LTC-P:高純度RGB-LTCハードフェルト
利用可能なサイズ:
プレート: 1500*1800 (最大) 厚さ 20-200mm
ラウンドドラム: 1500*2000(最大) 厚さ20-150mm
角ドラム: 1500*1500*2000(最大) 厚さ 60-120mm
適用温度範囲: 1250-2600
半導体業界でのアプリケーション
半導体業界では、セミセラ硬質フェルトるつぼは、ウェーハ製造、結晶成長、化学蒸着などの高温プロセスに不可欠です。高純度の硬質フェルト素材により汚染リスクが最小限に抑えられ、クリーンルーム環境や精密な熱用途に最適です。るつぼの耐久性と耐摩耗性は、長期にわたって製品の一貫性と効率を維持するのに役立つため、頻繁に熱サイクルを受ける半導体装置にとって特に価値があります。
さらに、セミセラ硬質フェルトるつぼは、半導体製造で使用されるグラファイトフォイル、多孔質グラファイト、C/C 複合材料を含むプロセスの主要コンポーネントとして機能し、半導体ウェーハとコンポーネントの完全性と品質をサポートします。
優れた耐熱性と耐摩耗性
Semicera の硬質フェルトるつぼは、高い熱安定性と耐摩耗性を備え、最も要求の厳しい環境にも簡単に対応できるように作られています。極度の熱や摩耗条件に対する耐性により、劣化することなく長期間の使用に耐えることができるため、安定した高温性能と低メンテナンスが必要な用途に最適です。
高度な産業プロセス向けの高純度ソリューション
最高水準の純度と性能で設計されたセミセラ硬質フェルトるつぼは、厳格な品質と耐久性を要求する業界に、信頼性が高く耐久性のある高性能ソリューションを提供します。半導体製造の正確なニーズから、厳密な熱制御を必要とするその他のハイテク産業まで、このるつぼは作業効率と製品品質を向上させるように設計されています。
重要な高温用途における高度な熱安定性、耐摩耗性、高純度のソリューションを実現するには、セミセラの硬質フェルトるつぼをお選びください。
