エピタキシャルプロセスの下部バッフル用後半部品

簡単な説明:

SiCエピタキシャル装置用のSiCコーティングされたグラファイト部品。

製品の紹介と使用: 接続された石英管、ガスを通過させてトレイベースの回転、温度制御を駆動できます。

製品のデバイスの位置: 反応チャンバー内、ウェーハと直接接触しない

主な下流製品：パワーデバイス

主要ターミナル市場: 新エネルギー車