説明
MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体
グラファイトヒーター：
グラファイトヒーターコンポーネントは、真空環境では2200度、脱酸および挿入ガス環境では3000度に達する高温炉で使用されます。
グラファイトヒーターの主な特長
1. 加熱構造の均一性。
2. 良好な導電性と高い電気負荷。
3.耐食性。
4. 非酸化性。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスが少ないことです。
酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの全ての部品を生産できます。
ケミカルグラファイト
利点: 高温耐性
用途:MOCVD/真空炉/ホットゾーン
かさ密度:1.68-1.91g/cm3
曲げ強度: 30-46Mpa
抵抗率:7-12μΩm
グラファイトヒーターの主なパラメータ
| 技術仕様 | VET-M3 |
| かさ密度 (g/cm3) | ≥1.85 |
| 灰分含有量 (PPM) | ≤500 |
| ショア硬度 | ≥45 |
| 比抵抗(μ.Ω.m) | ≤12 |
| 曲げ強さ(Mpa) | 40以上 |
| 圧縮強度(Mpa) | 70以上 |
| 最大。粒径(μm) | ≤43 |
| 熱膨張係数 Mm/℃ | ≤4.4*10-6 |
電気炉用黒鉛ヒーターは、耐熱性、耐酸化性、良好な導電性、優れた機械的強度などの特性を備えています。お客様の設計に合わせて各種グラファイトヒーターを加工いたします。
会社概要
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. は、先進的な半導体セラミックスの大手サプライヤーであり、高純度の炭化ケイ素セラミックス (特に再結晶化 SiC) と CVD SiC コーティングを同時に提供できる中国唯一のメーカーです。また、当社はアルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、窒化珪素等のセラミックス分野にも力を入れております。
当社の主力製品には、炭化ケイ素エッチングディスク、炭化ケイ素ボート牽引、炭化ケイ素ウェーハボート（太陽光発電および半導体）、炭化ケイ素炉管、炭化ケイ素カンチレバーパドル、炭化ケイ素チャック、炭化ケイ素ビーム、CVD SiCコーティングおよびTaCが含まれます。コーティング。結晶成長、エピタキシー、エッチング、パッケージング、コーティング、拡散炉などの装置など、主に半導体および太陽光発電産業で使用される製品。
当社は、成形、焼結、加工、コーティング設備などの完全な生産設備を備えており、製品生産に必要なすべてのリンクを完了でき、製品の品質のより高い制御性を備えています。製品のニーズに応じて最適な生産計画を選択できるため、コストを削減し、より競争力のある製品をお客様に提供できます。当社は、注文の配送要件に基づいて、オンライン注文管理システムと連携して、柔軟かつ効率的に生産スケジュールを設定することができ、より迅速で保証された納期をお客様に提供します。
