SiCエピタキシーウェーハキャリアは適応範囲が広いです。柔軟な変換をサポートするだけでなく、6インチウェーハキャリアと2インチウェーハキャリアとしてだけでなく、LPE SiC エピタキシーなどのさまざまなエピタキシー タイプを含むさまざまなエピタキシー装置でも使用できます。さらに、本製品はガラスキャリアウェーハと併用することで、需要の高い半導体製造に適したスムーズな搬送とウェーハの高精度加工を実現します。
セミセラさんSiCエピタキシーウェーハキャリアは炭化ケイ素塗装表面処理を採用しており、高温耐性と耐食性が大幅に向上し、複雑なエピタキシープロセス環境に優れています。いるかどうかGaNエピウエハ生産またはその他のエピタキシープロセスにおいて、セミセラの製品は完璧なウェーハローディングを保証し、ストレスや欠陥を最小限に抑え、最終製品の品質を向上させることができます。
Semicera は、半導体業界に効率的で信頼性の高いウェーハ ローディング ソリューションを提供することに取り組んでいます。優れた性能とデザインにより、SiCエピタキシーウェーハキャリアはさまざまなエピタキシープロセスに不可欠なコンポーネントであり、エピタキシー装置を最適にサポートします。
