ソリッドSiCフォーカスリング

Semicera のソリッド SiC フォーカス リングは、高度な半導体製造の要求を満たすように設計された最先端のコンポーネントです。高純度で作られています炭化ケイ素(SiC)、このフォーカス リングは、特に半導体業界の幅広い用途に最適です。CVD SiCプロセス、プラズマエッチング、およびICPRIE (誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング)。優れた耐摩耗性、高い熱安定性、純度で知られており、高ストレス環境でも長期にわたるパフォーマンスを保証します。

半導体においてウエハースソリッド SiC フォーカス リングは、ドライ エッチングやウェーハ エッチングのアプリケーション中に正確なエッチングを維持するために重要です。 SiC フォーカス リングは、プラズマ エッチング装置の動作などのプロセス中にプラズマの焦点を合わせるのに役立ち、シリコン ウェーハのエッチングには不可欠です。固体 SiC 材料は、比類のない耐浸食性を備えているため、装置の寿命を確保し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。これは、半導体製造における高スループットを維持するために不可欠です。

Semicera のソリッド SiC フォーカス リングは、半導体業界で一般的に遭遇する極端な温度や攻撃的な化学物質に耐えるように設計されています。以下のような高精度のタスクで使用するために特別に作られています。CVD SiC コーティング、純度と耐久性が最も重要です。熱衝撃に対する優れた耐性を備えたこの製品は、作業中に高温にさらされるなどの最も過酷な条件下でも一貫した安定した性能を保証します。ウエハースエッチング工程。