炭化ケイ素ウェーハボート

SiC製品の特長

高温耐性と耐腐食性により、ウェーハの品質と生産性が向上します

SiCとは炭化ケイ素のことです。炭化ケイ素（SiC）は、珪砂やコークスなどの原料を高温の炉で溶かして作られます。現在の炭化ケイ素の工業生産には、黒色炭化ケイ素と緑色炭化ケイ素の２種類がある。どちらも六方晶系の結晶で、比重は3.21g/cm3、微小硬度は2840～3320kg/mm2です。

70種類以上の結晶質炭化ケイ素で、3.21g/cm3と低比重で高温強度が高いため、軸受や高温炉の原料として適しています。いかなる圧力でも到達できず、化学活性はかなり低いです。

同時に、熱伝導率が高く、圧壊電界強度が高く、最大電流密度が高いため、多くの人がシリコンを炭化ケイ素に置き換えようと試みてきました。最近では、半導体ハイパワー部品の応用にも使われています。実際、炭化ケイ素基板の熱伝導率はサファイア基板の10倍以上であるため、良好な伝導率と熱伝導率を備えた炭化ケイ素基板LEDコンポーネントの使用は、高出力LEDの製造に比較的役立ちます。