炭化ケイ素カンチレバーウェーハパドル

簡単な説明:

Semicera Silicon Carbide カンチレバー ウェーハ パドルは、優れた強度と熱安定性を備え、高温でのウェーハの取り扱いに最適です。このウェーハパドルは精密に設計された設計により、信頼性の高いパフォーマンスを保証します。 Semicera は 30 日間の納期を提供し、お客様の生産ニーズに迅速かつ効率的に対応します。お問い合わせはこちらまでご連絡ください。


製品詳細

製品タグ

セミセラSiC カンチレバー ウェーハ パドルは、現代の半導体製造の要求を満たすように設計されています。これウェハーパドルは、高温環境でウェーハを取り扱うために重要な、優れた機械的強度と耐熱性を備えています。

SiC カンチレバー設計により、ウェーハを正確に配置できるため、取り扱い中の損傷のリスクが軽減されます。熱伝導率が高いため、極端な条件下でもウェーハが安定した状態を保ちます。これは生産効率を維持するために重要です。

構造上の利点に加えて、セミセラのSiC カンチレバー ウェーハ パドル重量と耐久性の面でも利点があります。軽量構造により、取り扱いが容易になり、既存のシステムへの統合が容易になります。また、高密度 SiC 素材により、厳しい条件下でも長期にわたる耐久性が保証されます。

 再結晶炭化ケイ素の物性

財産

代表値

使用温度(℃)

1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気)

SiC含有量

> 99.96%

無料のSiコンテンツ

< 0.1%

かさ密度

2.60~2.70g/cm3

見かけの気孔率

< 16%

圧縮強度

> 600MPa

冷間曲げ強度

80~90MPa(20℃)

熱間曲げ強度

90~100MPa(1400℃)

熱膨張 @1500°C

4.70 10-6/℃

熱伝導率 @1200°C

23W/m・K

弾性率

240GPa

耐熱衝撃性

非常に良い

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