セミセラSiC カンチレバー ウェーハ パドルは、現代の半導体製造の要求を満たすように設計されています。これウェハーパドルは、高温環境でウェーハを取り扱うために重要な、優れた機械的強度と耐熱性を備えています。
SiC カンチレバー設計により、ウェーハを正確に配置できるため、取り扱い中の損傷のリスクが軽減されます。熱伝導率が高いため、極端な条件下でもウェーハが安定した状態を保ちます。これは生産効率を維持するために重要です。
構造上の利点に加えて、セミセラのSiC カンチレバー ウェーハ パドル重量と耐久性の面でも利点があります。軽量構造により、取り扱いが容易になり、既存のシステムへの統合が容易になります。また、高密度 SiC 素材により、厳しい条件下でも長期にわたる耐久性が保証されます。
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 代表値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC含有量 | > 99.96% |
無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |