炭化ケイ素横型ボートプレート

優れた耐久性:高純度の炭化ケイ素を使用しており、 ボートプレートまでの極端な温度に耐えるように設計されています。1600℃、比類のない耐久性と寿命を提供します。

均一な熱分布:炭化ケイ素の熱伝導率により、プレート全体に均一な熱分布が確保され、プロセスの一貫性を維持し、高品質のウェーハ生産を達成するために重要です。

耐薬品性:当社のボート プレートは腐食性化学薬品や過酷な環境に耐性があり、最も要求の厳しい半導体処理用途でも完全性と性能を維持します。

高い機械的強度:当社の堅牢な構造ボートプレート優れた機械的強度と耐摩耗性を保証し、損傷のリスクを軽減し、頻繁な交換の必要性を軽減します。