炭化ケイ素横型チャンバー炉ウェーハボート

簡単な説明:

Semicera はウェーハボートを提供します、ホルダー、および垂直/列および水平構成用のカスタムウェーハキャリア。高度なセラミックは、粒子や汚染物質を削減しながら、優れた耐熱性とプラズマ耐久性を提供します。半導体グレードの炭化ケイ素 (SiC) は、大容量のウェーハキャリアに高温強度ももたらします。


製品詳細

製品タグ

当社のLPCVD(低圧化学蒸着法)炭化ケイ素ボート最先端の技術で設計され、高温の半導体製造プロセス向けに設計されています。この高品質な炭化ケイ素ボート極端な条件下でも卓越したパフォーマンスと信頼性を実現するため、半導体製造やその他の高温プロセスに理想的な選択肢となります。

 

主な特長

 

高温安定性:私たちの炭化ケイ素ボートまでの温度に耐えます1700°C、連続高温動作における安定性とパフォーマンスを保証します。

化学的不活性度:化学的安定性に優れ、酸、塩基などの腐食性薬品に対しても腐食しにくく、長期使用に耐えます。

優れた熱伝導率:高い熱伝導率によりボート全体に均一な温度分布が保証され、製品の品質と一貫性の向上に貢献します。

強度と耐摩耗性:優れた機械的強度と耐摩耗性により、損傷することなく継続使用でき、交換頻度とコストを削減できます。

 

アプリケーション:

半導体製造、太陽電池製造、高温炉の操作など、さまざまな高温プロセスに適しています。その高いパフォーマンスと信頼性により、これらの要求の厳しいアプリケーションにとって理想的な選択肢となります。

 

選ぶ理由当社のLPCVDシリコンカーバイドボート?

当社は最高水準の製品とサービスを提供することに尽力しています。当社のLPCVD炭化ケイ素ボート優れたパフォーマンスと耐久性を提供するだけでなく、生産効率と品質を最適化し、運用コストを削減します。私たちを選ぶということは、あなたのビジネスを前進させるための信頼できるパートナーを選ぶことを意味します。

 

私たちについて

 

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