半導体ウエハ搬送用PSS加工キャリア

簡単な説明:

炭化ケイ素はコストパフォーマンスが高く、優れた材料特性を備えた新しいタイプのセラミックスです。炭化ケイ素は、高い強度と硬度、高温耐性、優れた熱伝導率、耐化学腐食性などの特徴により、ほぼすべての化学媒体に耐えることができます。したがって、SiC は石油採掘、化学、機械、空域で広く使用されており、原子力エネルギーや軍事でも SIC に対する特別な需要があります。当社が提供できる通常の用途としては、ポンプ、バルブ、防護服などのシールリングがあります。

お客様のご指定の寸法に合わせて、高品質かつ妥当な納期で設計および製造することができます。


製品詳細

製品タグ

製品説明

当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。

主な特徴:

1. 高温酸化耐性:

1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。

2. 高純度 : 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。

3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性

結晶構造

FCC βフェーズ

密度

g/cm3

3.21

硬度

ビッカース硬さ

2500

粒度

μm

2~10

化学純度

%

99.99995

熱容量

J・kg-1・K-1

640

昇華温度

2700

感覚の強さ

MPa(室温4点)

415

ヤング率

Gpa (4pt曲げ、1300℃)

430

熱膨張 (CTE)

10-6K-1

4.5

熱伝導率

(W/mK)

300

セミセラ作業所
セミセラ作業場2
設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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