炭化ケイ素ウェーハホルダーは、RTPキャリア、LEDエピタキシャルサセプタ、バレルサセプタに使用できるだけでなく、単結晶シリコンの製造工程における安定した載置をサポートします。この製品はパンケーキサセプタや太陽光発電部品でも優れた性能を発揮し、特にSiCエピタキシー上のGaNプロセスでの使用に適しており、生産効率を効果的に向上させ、欠陥を削減します。
Semicera の炭化ケイ素ウェーハ ホルダーは高品質の炭化ケイ素素材を使用しており、優れた高温耐性を備えているだけでなく、腐食環境でも安定した状態を維持できます。 ICP エッチング キャリアでも、その他の複雑なエピタキシーおよびエッチング プロセスでも、この製品は安定したウェーハ ローディングを確保し、ストレスを軽減し、製造品質を最適化できます。
Semicera の炭化ケイ素ウェーハ ホルダーは、複雑なエピタキシーおよびエッチング プロセス向けに設計されています。優れた性能と高い耐久性により、半導体製造において理想的な選択肢となっています。 Si エピタキシーをサポートするか、SiC エピタキシーをサポートするかにかかわらず、セミセラはお客様に一流の製品とサービスを提供することに尽力しています。
耐熱性、耐食性に優れ、半導体製造装置に幅広く応用可能
