炭化ケイ素ウェハ台座

簡単な説明:

Semicera の炭化ケイ素ウェーハ ペデスタルは、エピタキシーおよびエッチング プロセスの効率を向上させるように設計された高性能プラットフォームです。 SiエピタキシーやSiCエピタキシーなどのプロセスを支える重要なコンポーネントとして、セミセラの製品は過酷な条件下でも優れた安定性と精度を維持できます。単結晶シリコン(Monocrystalline Silicon)の製造でも、GaN on SiC エピタキシーでも、セミセラの炭化ケイ素ウェーハペデスタルは、さまざまな半導体製造のニーズに対応できます。


製品詳細

製品タグ

炭化ケイ素ウェハ台座などのさまざまな主要機器に適しています。MOCVDサセプタ、パンケーキサセプター、RTPキャリアなどでも優れた性能を発揮します。LEDエピタキシャルサセプタ (LED エピタキシャル サセプタ) とバレル サセプタ (バレル サセプタ)。 semicera の製品は、太陽光発電部品、PSS エッチングキャリア、およびICPエッチング効率的な生産と高品質の完成品を保証するキャリア。

Semicera の炭化ケイ素ウェーハペデスタルは、特に高温および腐食環境において、先進的な材料と革新的なデザインを使用しています。効果的にサポートできるLEDエピタキシー、太陽光発電、その他の複雑な半導体製造プロセスで応力と欠陥を軽減し、安定したウェーハ搬送と処理を保証し、高精度の製造プロセスに信頼性の高い保護を提供します。

エピタキシー、エッチング、その他のハイエンド製造プロセスをサポートする必要がある場合でも、セミセラの炭化ケイ素ウェーハペデスタルは優れたソリューションを提供します。その優れた性能により、SiエピタキシーそしてSiCエピタキシー、この製品は、半導体プロセスの効率的な動作を保証するための重要なコンポーネントです。

シリコンエピタキシャル部品 (1)
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