炭化タンタル (TaC)高融点、高硬度、優れた化学的安定性、強い電気伝導性と熱伝導性などの利点を備えた超高温耐性セラミック材料です。TaCコーティング耐アブレーションコーティング、耐酸化コーティング、耐摩耗コーティングとして使用でき、航空宇宙の熱保護、第3世代半導体単結晶成長、エネルギーエレクトロニクスなどの分野で広く使用されています。
プロセス：
炭化タンタル (TaC)は、高融点、高硬度、優れた化学的安定性、強い電気伝導性と熱伝導性の利点を備えた一種の超高温耐性セラミック材料です。したがって、TaCコーティング耐アブレーションコーティング、耐酸化コーティング、耐摩耗コーティングとして使用でき、航空宇宙の熱保護、第3世代半導体単結晶成長、エネルギーエレクトロニクスなどの分野で広く使用されています。
一般的なアプリケーション:
GaNとSiCエピタキシャルウェハキャリア、衛星受信アンテナ、シャワーヘッド、トップカバー、サセプタなどの CVD リアクタコンポーネント。
るつぼ、種結晶ホルダー、フローガイド、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。
抵抗発熱体、ノズル、シールドリング、ろう付け治具などの工業用コンポーネント。
主な特徴:
2600℃の高温安定性
H の過酷な化学環境において定常状態の保護を提供します2、ニューハンプシャー州3、SiH4およびSi蒸気
短い生産サイクルでの大量生産に適しています。
