ソリッドCVD SiCリング高温、腐食性、摩耗性の環境における産業および科学分野で広く使用されています。これは、次のような複数のアプリケーション分野で重要な役割を果たします。
1. 半導体製造:ソリッドCVD SiCリング半導体装置の加熱と冷却に使用でき、安定した温度制御を提供してプロセスの精度と一貫性を確保します。
2. オプトエレクトロニクス:優れた熱伝導性と高温耐性により、ソリッドCVD SiCリングレーザー、光ファイバー通信機器、光学部品の支持材や放熱材として使用できます。
3. 精密機械: 固体 CVD SiC リングは、高温炉、真空装置、化学反応器など、高温および腐食環境にある精密機器や装置に使用できます。
4. 化学産業: 固体 CVD SiC リングは、その耐食性と化学的安定性により、化学反応や触媒プロセスのコンテナ、パイプ、反応器で使用できます。
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エピタキシー成長用サセプタ
シリコン/炭化ケイ素ウェーハを電子デバイスに使用するには、複数のプロセスを経る必要があります。重要なプロセスはシリコン/SIC エピタキシーです。このプロセスでは、シリコン/SIC ウェーハがグラファイト ベース上に運ばれます。 Semicera の炭化ケイ素でコーティングされたグラファイト ベースの特別な利点には、非常に高い純度、均一なコーティング、および非常に長い耐用年数が含まれます。また、高い耐薬品性と熱安定性も備えています。
LEDチップの製造
MOCVD リアクターの広範なコーティング中に、遊星ベースまたはキャリアが基板ウェーハを移動させます。母材の性能はコーティングの品質に大きな影響を与え、ひいてはチップのスクラップ率に影響を与えます。 Semicera の炭化ケイ素でコーティングされたベースは、高品質 LED ウェーハの製造効率を高め、波長の偏差を最小限に抑えます。また、現在使用されているすべての MOCVD リアクター用に追加のグラファイト コンポーネントも供給しています。ほぼすべてのコンポーネントを炭化ケイ素コーティングでコーティングできます。コンポーネントの直径が最大 1.5M であっても、炭化ケイ素でコーティングできます。
半導体分野、酸化拡散プロセス、など。
半導体プロセスでは、酸化膨張プロセスに高い製品純度が必要です。セミセラでは、大部分の炭化ケイ素部品に対してカスタムおよび CVD コーティング サービスを提供しています。
以下の写真は、粗加工されたSemiceaの炭化ケイ素スラリーと100分間洗浄された炭化ケイ素炉管を示しています。0-レベル埃のない部屋。当社の職人は塗装前の作業を行っております。当社の炭化ケイ素の純度は99.99%に達し、SICコーティングの純度は99.99995%以上です。.