CVD TaC コーティング

CVD TaC コーティングの紹介:

CVD TaC コーティングは、化学蒸着を使用して基板の表面に炭化タンタル (TaC) コーティングを堆積する技術です。炭化タンタルは、優れた機械的および化学的特性を備えた高性能セラミック材料です。 CVDプロセスでは、ガス反応により基板表面に均一なTaC膜を生成します。

主な特長:

優れた硬度と耐摩耗性：タンタルカーバイドは非常に高い硬度を持ち、CVD TaCコーティングにより基材の耐摩耗性を大幅に向上させることができます。このため、このコーティングは、切削工具や金型などの摩耗の激しい環境での用途に最適です。

高温安定性: TaC コーティングは、最大 2200°C の温度で重要な炉と反応器のコンポーネントを保護し、優れた安定性を示します。極端な温度条件下でも化学的および機械的安定性を維持するため、高温処理や高温環境での用途に適しています。

優れた化学的安定性: 炭化タンタルはほとんどの酸やアルカリに対して強い耐食性を持ち、CVD TaC コーティングは腐食環境下での基板への損傷を効果的に防止します。

融点が高い: 炭化タンタルは融点が高い (約 3880°C) ため、CVD TaC コーティングは極度の高温条件下でも溶融や劣化することなく使用できます。

優れた熱伝導性：TaCコーティングは熱伝導率が高く、高温プロセスでの熱を効果的に放散し、局所的な過熱を防ぎます。

潜在的な用途:

• 窒化ガリウム (GaN) および炭化ケイ素エピタキシャル CVD リアクター コンポーネント (ウェーハ キャリア、衛星受信アンテナ、シャワーヘッド、天井、サセプターなど)

• るつぼ、シードホルダー、ガイドリング、フィルターなどの炭化ケイ素、窒化ガリウム、窒化アルミニウム (AlN) 結晶成長コンポーネント

• 抵抗発熱体、射出ノズル、マスキングリング、ろう付け治具などの工業用部品

アプリケーションの機能:

• 温度は 2000°C 以上で安定しており、極端な温度での動作が可能
•水素 (Hz)、アンモニア (NH3)、モノシラン (SiH4)、シリコン (Si) に対する耐性があり、過酷な化学環境でも保護します。
• 耐熱衝撃性により、より速い動作サイクルが可能になります。
●グラファイトは密着力が強く、塗膜剥離がなく長寿命です。
・不要な不純物や汚染物質を除去した超高純度
• 厳しい寸法公差に対応するコンフォーマルコーティング被覆率

技術仕様:

CVDによる緻密な炭化タンタルコーティングの作製：

結晶性が高く均一性に優れたTACコーティング：

CVD TAC コーティングの技術パラメータ_セミセラ:

上記は代表的な値です.