炭化ケイ素結晶成長用の熱場材料 – 多孔質タンタルカーバイド

簡単な説明:

多孔質炭化タンタルは、主に気相成分の濾過、局所的な温度勾配の調整、材料の流れ方向の誘導、漏れの制御などに使用されます。別の固体炭化タンタル（コンパクト）またはセミセラテクノロジーの炭化タンタルコーティングと併用して局所成分を形成することができます。異なる流れコンダクタンスを備えています。

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製品詳細

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Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティングプロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用セミセラの部品の比較です。