炭化ケイ素 (SiC) コーティングを施したウェーハキャリア

ウェーハキャリアと炭化ケイ素 (SiC) コーティングsemicera の製品は、高性能エピタキシャル成長用に専門的に設計されており、最適な結果を保証します。SiエピタキシーそしてSiCエピタキシーアプリケーション。 Semicera の精密設計キャリアは、極端な条件に耐えるように構築されており、高精度と耐久性を必要とする業界の MOCVD サセプタ システムに不可欠なコンポーネントとなっています。

これらのウェーハキャリアは多用途であり、次のような機器を使用して重要なプロセスをサポートします。PSSエッチングキャリア, ICPエッチングキャリア、 そしてRTPキャリア。堅牢な SiC コーティングにより、次のようなアプリケーションのパフォーマンスが向上します。LEDエピタキシャルサセプタと単結晶シリコンにより、要求の厳しい環境でも一貫した結果を保証します。

バレル サセプタやパンケーキ サセプタなどの複数の構成で利用できるこれらのキャリアは、太陽光発電および半導体の製造において重要な役割を果たし、太陽光発電部品の製造をサポートし、SiC 上の GaN エピタキシー プロセスを促進します。優れた設計を備えたこれらのキャリアは、高効率生産を目指すメーカーにとって重要な資産です。