Semicera のジルコニア ZrO2 ロボット アームは、次のレベルのロボット オートメーションを実現し、精度、耐久性、高純度の材料を必要とする業界に高性能ソリューションを提供します。高品質のジルコニア (ZrO2) で製造されたこのロボット アームは、極端な温度に耐え、耐摩耗性があり、最も要求の厳しい環境でも長期的な動作安定性を維持できるように設計されています。その卓越した熱安定性、耐摩耗性、優れた機械的特性により、半導体製造、精密オートメーション、マテリアルハンドリングなどのハイテク産業にとって理想的な選択肢となります。
比類のない耐久性と熱安定性
優れた耐摩耗性と高い熱安定性で知られるジルコニア (ZrO2) から作られたセミセラ ジルコニア ZrO2 ロボット アームは、極限の条件でも確実に動作するように作られています。従来の金属とは異なり、ジルコニアは高温でも強度と完全性を維持できるため、精密プロセスにおいて不可欠なコンポーネントとなっています。さらに、ジルコニアの高純度の性質により、ロボット アームは、半導体ウェーハ処理など、材料の汚染を最小限に抑える必要がある環境で確実に動作します。
セミセラは、炭化ケイ素 (SiC)、アルミナ (Al2O3)、窒化ケイ素 (Si3N4)、窒化アルミニウム (AIN) などの先進的なセラミック材料を組み込んで、自動化タスク向けの強度、耐久性、柔軟性のバランスをとった複合セラミック ソリューションを作成しました。これらの先進的な材料は、アクスル スリーブ、ブッシング、ウェーハ キャリア、メカニカル シール、ウェーハ ボートのいずれに使用される場合でも、ロボット アームの摩耗や熱衝撃に対する耐性を確保し、耐用年数を延長するための優れた信頼性を提供します。
ジルコニアセラミック部品の主な特徴:
1. ステンレス鋼の276倍をはるかに上回る優れた耐摩耗性
2. ほとんどのテクニカルセラミックスよりも高密度、6 g/cm3 以上
3. ビッカー硬度1300MPa以上の高硬度
4. 2400°までの高温に耐えることができます
5. 低い熱伝導率、室温で 3 W/mk 未満
6. ステンレス鋼と同様の熱膨張係数
7. 最大 8 Mpa m1/2 に達する優れた破壊靱性
8. 化学的不活性、耐老化性、永久に錆びない
9. 異常な融点による溶融金属に対する耐性。
ジルコニア(ZrO2)Ⅰの主な用途
金型および金型工具(各種金型、精密位置決め治具、絶縁治具);ミル部品(分級機、気流ミル、ビーズミル);工業用工具(工業用カッター、スリッターマシン、フラットプレスロール);光コネクタ部品 (シールリング、スリーブ、V 溝固定具);特殊バネ(コイルバネ、板バネ);消費者向け製品 (小型絶縁ドライバー、セラミックナイフ、スライサー)。
半導体アプリケーション向けの高純度ソリューション
半導体業界では、セミセラのジルコニア ZrO2 ロボット アームは、正確なマテリアル ハンドリングと汚染管理が不可欠なアプリケーションで優れています。ロボット アームの高純度組成は、わずかな汚染でも製品の品質に影響を与える可能性がある、ウェーハのハンドリング、ウェーハの検査、材料の成膜などの作業において非常に重要です。アームの堅牢な設計により、クリーンルーム環境で最適なパフォーマンスが保証され、ウエハ搬送などの繊細な操作や高温安定性が必要な機器に最適です。
ロボット アームは、メカニカル シール、ウェーハ ボート、精密ブッシュ システムなどの重要な用途にも使用されます。優れた耐摩耗性と高い熱安定性により、自動生産ラインでのよりスムーズな動作が可能になり、ダウンタイムのリスクが軽減され、半導体の製造と処理における全体的なスループットが向上します。
信頼性の高い高性能オートメーション
Semicera Zirconia ZrO2 ロボット アームは、最小限のメンテナンスと最大限の精度で堅牢な自動化システムを求めるメーカーに高度なソリューションを提供します。ジルコニア (ZrO2) とその他の高性能セラミックの独自の組み合わせにより、最高水準の性能を要求する業界の最も困難なタスクに確実に対応できます。このロボット アームは、半導体製造プロセスまたは高度な製造システムに統合されているかどうかにかかわらず、優れた耐久性、精度、長期信頼性を保証します。
最も要求の厳しい環境における最先端のパフォーマンス、優れた耐摩耗性、高い熱安定性を実現するセミセラのジルコニア ZrO2 ロボット アームをお選びください。