安定した信頼性を提供できます炭化ケイ素クリスタルボート, 炭化ケイ素パドル, 炭化ケイ素炉管4 インチから 6 インチの半導体ウェーハ業界向け。ウェーハを汚染することなく、純度は 99.9% に達します。
炭化ケイ素炉管主に4～6インチのシリコンウェハLTO=シリカ、SIPOS=オキシポリシリコン、SI3N4=窒化シリコン、PSG=リンシリコンガラス、POLY=ポリシリコン膜成長に使用されます。原料ガス（または液体原料ガス化）を熱エネルギーによって活性化し、基板表面に固体膜を生成するものです。低圧化学気相成長法は、低圧で行われます。低圧であるため、ガス分子の平均自由行程が大きく、成長膜の均一性が良く、基板を垂直に置くことができ、成膜量を増やすことができます。負荷が大きく、特に大規模集積回路、ディスクリートデバイス、パワーエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスデバイス、光ファイバおよびその他の産業用特殊装置の工業生産に適しています。
Semicera Energy Technology Co., Ltd は、炭化ケイ素セラミック製品の研究、開発、生産、販売を専門としています。セミセラエナジーは2016年の設立以来、静水圧プレス成形工程、サウザンドプレス成形工程、グラウト成形工程、真空押出成形工程を習得してきました。当社は6つの炭化ケイ素セラミック焼結生産ラインを使用し、8台のCNC、6台の精密研削盤を備えており、炭化ケイ素セラミック焼結製品を提供することもできますが、炭化ケイ素セラミックス、アルミナセラミックス、窒化アルミニウムセラミックス、ジルコニアセラミックス加工サービスも提供できます。 。
