炭化ケイ素 各種半導体プロセスにおけるウェーハ搬送用セラミックエフェクター

特徴と利点

1.正確な寸法と熱安定性

2.高い比剛性と優れた熱均一性、長期使用でも曲げ変形が容易ではありません。

3.表面が滑らかで耐摩耗性に優れているため、粒子汚染なくチップを安全に取り扱うことができます。

4. 炭化ケイ素の抵抗率は 106 ～ 108Ω、非磁性、耐 ESD 仕様要件に準拠しています。チップ表面の静電気の蓄積を防ぐことができます。

5.熱伝導率が良く、膨張係数が低い。