炭化ケイ素コーティングの紹介
当社の化学蒸着 (CVD) 炭化ケイ素 (SiC) コーティングは、耐久性と耐摩耗性に優れた層であり、高い耐食性と耐熱性が要求される環境に最適です。炭化ケイ素コーティングCVDプロセスを通じてさまざまな基板上に薄層で塗布され、優れた性能特性を提供します。
主な特長
● - 卓越した純度：超高純度の成分を誇ります。99.99995%、 私たちのSiCコーティング繊細な半導体操作における汚染リスクを最小限に抑えます。
● -優れた耐性: 耐摩耗性と耐腐食性の両方に対して優れた耐性を示し、困難な化学およびプラズマ環境に最適です。
● - 高い熱伝導率: 優れた熱特性により、極端な温度下でも信頼性の高いパフォーマンスを保証します。
● -寸法安定性: 熱膨張係数が低いため、幅広い温度にわたって構造の完全性を維持します。
● - 強化された硬度: 硬度評価で40GPa当社の SiC コーティングは、重大な衝撃や摩耗に耐えます。
● - 滑らかな表面仕上げ：鏡面仕上げでパーティクルの発生を抑え、作業効率を高めます。
アプリケーション
セミセラ SiCコーティング以下を含む半導体製造のさまざまな段階で利用されます。
● -LEDチップの製造
● -ポリシリコンの製造
● -半導体結晶成長
● -シリコンおよびSiCエピタキシー
● -熱酸化と拡散 (TO&D)
当社は、流動層反応器向けに調整された、高強度静水圧グラファイト、炭素繊維強化カーボン、および 4N 再結晶炭化ケイ素から作られた SiC コーティングされたコンポーネントを供給しています。PECVD、シリコンエピタキシー、MOCVDプロセスで使用されるSTC-TCSコンバーター、CZユニットリフレクター、SiCウェーハボート、SiCウェーハパドル、SiCウェーハチューブ、ウェーハキャリア.
利点
● - 寿命の延長: 装置のダウンタイムとメンテナンスコストを大幅に削減し、全体的な生産効率を向上させます。
● - 品質の向上：半導体プロセスに必要な高純度な表面を実現し、製品の品質を向上させます。
● - 効率の向上: 熱プロセスと CVD プロセスを最適化し、サイクルタイムを短縮し、歩留まりを高めます。
技術仕様
● -構造: FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
● -密度: 3.21 g/cm3
● -硬度：ビックス硬度2500（500g荷重）
● - 破壊靱性：3.0MPa・m1/2
● -熱膨張係数(100～600℃)：4.3×10-6k-1
● -弾性率(1300℃):435 GPa
● - 一般的な膜厚:100μm
● - 表面粗さ:2-10 μm
純度データ (グロー放電質量分析法で測定)
| 要素 | ppm | 要素 | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| アル | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
